МинистерствоРоссийской Федерации
по связи иинформатизации
Сибирскийгосударственный университет
телекоммуникаций иинформатики
В.Л. Савиных
ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ
ЭЛЕКТРОНИКИ
Учебное пособие
для специальностей071 700, 200 700,
200 800,200 900, 201 000, 201 100, 201 200, 201 400
Новосибирск
2003
УДК 621.385
Рассматриваются устройство,физические процессы, характеристики, параметры и простейшие схемы примененияполупроводниковых электронных приборов.
ктн, доц. В.Л. Савиных,
Для студентов дневной и заочнойформ обучения специальностей 071700, 200700, 200800, 200900, 201000, 201100,201200, 201400.
Кафедра технической электроники.
Ил. 8, табл. 11, список лит. 4 назв.
Рецензент ктн, доц. Матвеев В.А.
Утверждено редакционно-издательским советом СибГУТИв качестве
учебного пособия
[нет1]
@ Сибирскийгосударственный
университеттелекоммуникаций
и информатики,2003 г.
[нет2]Содержание
Введение………………………………………………………
1 Основытеории электропроводности полупроводников.......
1.1 Общие сведения ополупроводниках....................................
1.1.1 Полупроводники с собственной проводимостью..............
1.1.2 Полупроводники с электронной проводимостью.............
1.1.3 Полупроводники с дырочной проводимостью..................
1.2 Токи в полупроводниках....................................................
1.2.1 Дрейфовыйток...................................................................
1.2.2 Диффузионный ток...........................................................
1.3 Контактныеявления...........................................................
1.3.1 Электронно-дырочный переход в состоянии равновесия
1.3.2 Прямое включение p-nперехода......................................
1.3.3 Обратное включение p-nперехода.................................
1.3.4 Теоретическая характеристика p-n перехода...........................
1.3.5 Реальная характеристика p-nперехода............................
1.3.6 Ёмкости p-nперехода......................................................
1.4 Разновидности p-nпереходов..........................................
1.4.1 Гетеропереходы...........................................................
1.4.2 Контакт между полупроводниками одного типа проводимости
1.4.3 Контакт металла с полупроводником..........................................
1.4.4 Омическиеконтакты...................................................................
1.4.5 Явления на поверхности полупроводника..............................
2 Полупроводниковые диоды.....................................................
2.1 Классификация.......................................................................
2.2 Выпрямительныедиоды.......................................................
2.3 Стабилитроны истабисторы.................................................
2.4 Универсальные и импульсныедиоды...................................
2.5 Варикапы..............................................................................
3 Биполярныетранзисторы...........................................................
3.1 Принципдействия биполярного транзистора. Режимы работы.....
3.1.1 Общиесведения..............................................................................
3.1.2 Физические процессы в бездрейфовом биполярном транзисторе
3.2 Статические характеристики биполярных транзисторов.........
3.2.1 Схема с общейбазой...............................................................
3.2.2 Схема с общимэмиттером........................................................
3.2.3 Влияние температуры на статические характеристики БТ.....
3.3 Дифференциальные параметры биполярноготранзистора..................
3.4 Линейная (малосигнальная) модель биполярного транзистора......
3.5 Частотные свойства биполярноготранзистора...................................
3.6 Способы улучшения частотных свойств биполярных транзисторов.
3.7 Работа транзистора в усилительномрежиме......................................
3.8 Особенности работы транзистора в импульсномрежиме..................
3.8.1 Работа транзистора в режиме усиления импульсов малой амплитуды..............................................................................................
3.8.2 Работа транзистора в режимепереключения.................................
3.8.3 Переходные процессы при переключении транзистора..............
4 Полевыетранзисторы..............................................................
4.1 Полевой транзистор с p-nпереходом........................................
4.2 Полевой транзистор с изолированным затвором (МДП-ранзистор)...
Литература..............................................................................................
ВВЕДЕНИЕ
Главы учебного пособияпосвящены физическим основам полупровод-ников, контактным явлениям междуполупроводниками различной прово-димости и между полупроводником и металлом.Рассматриваются принципы работы, характеристики и параметры полупроводниковыхприборов: диодов, биполярных и полевых транзисторов различной структуры.
Для освоения дисциплины ²Физические основы электроники² достаточно знаний по общеобразовательным иобщетехническим предметам в объёме, предусмотренном учебными программами.После изучения данной дисциплины студент должен получить базовую подготовку,необходимую для успешного освоения специальных радиотехнических курсов ипоследующего решения различного рода профессиональных задач, связанных срациональным выбором электронных приборов и режимов их работы врадиоэлектронной аппаратуре. Подробное рассмотрение физических основ явлений,принципов работы, параметров, характеристик и моделей приборов направлено наразвитие у студентов умение самостоятельно решать задачи моделирования, анализаи синтеза радиоэлектронных устройств при их проектировании и эксплуатации.
Однако вучебном пособии отсутствуют сведения о большой и постоянно обновляемойноменклатуре электронных приборов. Необходимый материал по этим вопросам можнонайти в справочниках, каталогах и других изданиях.
1 ОСНОВЫ ТЕОРИИ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.1ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ПОЛУПРОВОДНИКАХ
1.1.1Полупроводники с собственной электропроводностью
Кполупроводникам относятся вещества, которые по своим электрическим свойствамзанимают промежуточное положение между проводниками и диэлектриками.
Отличительнымпризнаком полупроводников является сильная зависимость их электропроводности оттемпературы, концентрации примесей, воздействия светового и ионизирующегоизлучений.
В созданииэлектрического тока могут принимать участие только подвижные носителиэлектрических зарядов. Поэтому электропроводность вещества тем больше, чембольше в единице объема этого вещества находится подвижных носителей электрическихзарядов. В металлах практически все валентные электроны (являющиеся носителямиэлементарного отрицательного заряда) свободны, что и обусловливает их высокуюэлектропроводность. Например, удельное сопротивление меди r=0,017×10-6Ом×м. В диэлектриках иполупроводниках свободных носителей значительно меньше, поэтому их удельноесопротивление велико. Например, для диэлектрика полиэтилена
r= 1015 Ом×м, а дляполупроводника кремния r = 2×103 Ом×м.
Характернойособенностью полупроводников является ярко выраженная температурная зависимостьудельного электрического сопротивления. С повышением температуры оно, какправило, уменьшается на 5...6% на градус, в то время как у металлов удельноеэлектрическое сопротивление с повышением температуры растет на десятые долипроцента на градус. Удельное сопротивление полупроводника также резкоуменьшается при введении в него незначительного количества примеси.
Большинствоприменяемых в настоящее время полупроводников относится к кристаллическимтелам, атомы которых образуют пространственную решетку. Взаимное притяжениеатомов кристаллической решетки осуществляется за счет ковалентной связи, т. е.общей пары валентных электронов, вращающихся по одной орбите вокруг этихатомов. Согласно принципу Паули, общую орбиту могут иметь только два электронас различными спинами, поэтому число ковалентных связей атома определяется еговалентностью.
Каждой орбитесоответствует своя энергия электрона. Электрон в атоме обладает тольконекоторыми, вполне определенными значениями энергии, составляющими совокупностьдискретных энергетических уровней атома.
В процессеобразования кристаллической решетки между атомами возникает сильноевзаимодействие, приводящее к расщеплению энергетических уровней, занимаемыхэлектронами атомов (рисунок 1.1). Совокупность этих уровней называютэнергетической зоной. Число подуровней в каждой зоне определяется числомвзаимодействующих атомов.
Разрешенныеэнергетические зоны 1, 3 отделены друг от друга запрещенной зоной 2.Запрещенная зона объединяет уровни энергий, которые не могут приниматьэлектроны атомов данного вещества. Поскольку ширина разрешенных зон в твердомтеле не превосходит несколько электрон-вольт (эВ), а число атомов в 1 см3достигает 1022, разность между уровнями составляет 10-22эВ. Таким образом, в пределах разрешенной зоны получается практическинепрерывный спектр энергетических уровней.
Верхняяразрешенная зона, в которой при абсолютном нуле температуры все энергетическиеуровни заняты, называется заполненной или валентной зоной (на рисунке 1.1. этозона 3). Разрешенная зона, в которой при Т = 0°К электроны отсутствуют, называется свободной (на рисунке 1.1 это зона 1).
/>
Шириназапрещенной зоны (зона 2 на рисунке 1.1) является важным параметром,определяющим свойства твердого тела. Вещества, у которых ширина запрещеннойзоны DW £ 3 эВ,относятся к полупроводникам, а при DW > 3 эВ — к диэлектрикам. У металлов запрещенная зонаотсутствует.
В полупроводниковой электроникеширокое применение получили германий (DW = 0,67 эВ) и
кремний (DW =1,12 эВ) — элементы 4-й группы периодической системы. На плоскости кристаллическуюрешетку этих элементов изображают так, как показано на рисунке 1.2, а.Здесь
Рисунок 1.1. Энергетическая
диаграмма кристалла при Т=0° К.
кружками с цифрой 4 обозначеныатомы без валентных электронов, называемые атомным остатком с результирующимзарядом +4q (q — зарядэлектрона, равный 1,6×10-19Кл). При температуре абсолютного нуля (0°К) все электроны находятся на орбитах, энергия электронов на которых непревышает энергетических уровней валентной зоны. Свободных электронов нет, иполупроводник ведет себя, как диэлектрик.
При комнатной температуре частьэлектронов приобретает энергию, достаточную для разрыва ковалентной связи(рисунок 1.2, а). При разрыве ковалентной связи в валентной зоне появляетсясвободный энергетический уровень (рис. 1.2, б). Уход электрона из ковалентнойсвязи сопровождается появлением в системе двух электрически связанных атомовединичного положительного заряда, получившего название дырки, и свободногоэлектрона.
/>
Рисунок 1.2. Условноеобозначение кристаллической решетки (а) и энергетическая диаграмма (б)полупроводника с собственной электропроводностью.
Разрывковалентной связи на энергетической диаграмме характеризуется появлением ввалентной зоне свободного энергетического уровня (см. рис.
1.2, б), на который можетперейти электрон из соседней ковалентной связи. При таком перемещениипервоначальный свободный энергетический уровень заполнится, но появится другойсвободный энергетический уровень. Другими словами, заполнение дыркиэлектроном из соседней ковалентной связи можно представить как перемещениедырки. Следовательно, дырку можно считать подвижным свободным носителем элементарногоположительного заряда. Процесс образования пар электрон-дырка называют генерациейсвободных носителей заряда. Очевидно, что количество их тем больше, чем вышетемпература и меньше ширина запрещенной зоны. Одновременно с процессомгенерации протекает процесс рекомбинации носителей, при котором электронвосстанавливает ковалентную связь. Из-за процессов генерации и рекомбинацииносителей зарядов при данной температуре устанавливается определенная концентрацияэлектронов в зоне проводимости ni, и равнаяей концентрация дырок pi, в валентной зоне.Из курса физики известно, что
/> /> (1.1)
где Wф — уровень Ферми, соответствующий уровню энергии,формальная вероятность заполнения которого равна 0,5 (формальная потому, чтоуровень Ферми находится в запрещенной зоне и фактически не может быть занятэлектронами; кривая распределения Ферми-Дирака, характеризующая вероятностьнахождения электрона на том или ином энергетическом уровне, всегда симметричнаотносительно уровня Ферми); WДН — энергия,соответствующая «дну» зоны проводимости; WВ — энергия, соответствующая «потолку» валентной зоны; Аn, Ар — коэффициенты пропорциональности; k — постоянная Больцмана, равная 1,37×10-23 Дж/град; Т- абсолютная температура, К. Вхимически чистых полупроводниках уровень Ферми совпадает с серединойзапрещенной зоны Wi, а также Аn = Ар = А. Поэтому можно записать:
/>/>. (1.2)
Из выражения (1.2) следует, что вчистом полупроводнике концентрации носителей зарядов зависят от ширинызапрещенной зоны и при увеличении температуры возрастают приблизи -тельно поэкспоненциальному закону (температурные изменения А играют незначительнуюроль). (Рисунок 1.3) Равенство концентраций niи pi показывает, что такой полупроводникобладает одинаковыми электронной и дырочной электропроводностями и называетсяполупроводником с Рисунок 1.3 Зависимость концентрации собственнойэлектропроводностью.
носителей от температуры.
1.1.2 Полупроводники с электронной электропроводностью
При введении в 4-валентныйполупроводник примесных 5-валентных атомов (фосфора Р, сурьмы Sb)атомы примесей замещают основные атомы в узлах кристаллической решетки (рис.1.4, а). Четыре электрона атома примеси вступают в связь с четырьмя валентнымиэлектронами соседних атомов основного полупроводника. Пятый валентныйэлектрон слабо связан со своим атомом и при сообщении ему незначительнойэнергии, называемой энергией активации, отрывается от атома и становитсясвободным. Примеси, увеличивающие число свободных электронов, называютдонорными или просто донорами. Доноры подбирают таким образом, чтобы ихэнергетические уровни Wд располагались взапрещенной зоне вблизи дна зоны проводимости основного полупроводника (рис.1.4, б). Поскольку концентрация доноров в большинстве случаев не превышает 1015...1017атомов в 1 см3, что составляет
10-4 % атомовосновного вещества, то взаимодействие между атомами доноров отсутствует и ихэнергетические уровни не разбиваются на зоны.
Малая энергия активизациипримесей, равная 0,04-0,05 эВ для кремния и 0,01-0,13 эВ для германия, уже прикомнатной температуре приводит к полной ионизации 5-валентных атомов примесейи появлению в зоне проводимости свободных электронов. Поскольку в этом случаепоявление свободных электронов в зоне проводимости не сопровождаетсяодновременным
/>
Рисунок 1.4 Условноеобозначение кристаллической решетки (а) и энергетическая диаграмма (б)полупроводника с электронной электропроводностью.
увеличением дырок в валентнойзоне, в таком полупроводнике концентрация электронов оказывается значительнобольше концентрации дырок. Дырки в полупроводниках образуются только врезультате разрыва ковалентных связей между атомами основного вещества.
Полупроводники,в которых концентрация свободных электронов в зоне проводимости превышаетконцентрацию дырок в валентной зоне, называются полупроводниками, с электроннойэлектропроводностью или полупроводниками n-типа.
Подвижныеносители заряда, преобладающие в полупроводнике, называют основными.Соответственно те носители заряда, которые находятся в меньшем количестве,называются неосновными для данного типа полупроводника. Вполупроводнике n-типа основными носителями зарядаявляются электроны, а неосновными — дырки. В состоянии теплового равновесия втаком полупроводнике концентрации свободных электронов (/>) и дырок (/>) определяютсясоотношениями:
/>; />. (1.3)
С учетом соотношений(1.1) выражения (1.3) можно представить в следующем виде:
/>; (1.4) />. (1.5)
Из этихсоотношений следует, что для полупроводника n-типавыполняется неравенство />>> />.
Атомы5-валентных примесей, «потерявшие» по одному электрону, превращаютсяв положительные ионы. В отличие от дырок положительные ионыпрочно связаны с кристаллической решеткой основного полупроводника, являютсянеподвижными положительными зарядами и, следовательно, не могут приниматьнепосредственное участие в создании электрического тока в полупроводнике.
Если считать,что при комнатной температуре все атомы донорных примесей ионизированы (/>= Nд,/>» 0), на основании выражения (1.4) можнозаписать:
/>, (1.6)
где Nд — концентрация донорных атомов в полупроводнике.
Из соотношения(1.6) видно, что в полупроводниках n-типа уровень Ферми располагается в верхнейполовине запрещенной зоны, и тем ближе к зоне проводимости, чем большеконцентрация доноров. При увеличении температуры уровень Ферми смещается ксередине запрещенной зоны за счет ионизации основных атомов полупроводника.
Повышениеконцентрации электронов в данном полупроводнике значительно снижает егоудельное сопротивление. Например, чистый кремний имеет r = 2×103Ом× м, а легированный фосфором — (0,25...0,4)×102 Ом×м.
1.1.3 Полупроводники с дырочной электропроводностью
Если вкристалле 4-валентного элемента часть атомов замещена атомами 3-валентногоэлемента (галлия Ga, индия In),то для образования четырех ковалентных связей у примесного атома не хватаетодного электрона (рис.
1.5, а). Этотэлектрон может быть получен от атома основного элемента полупроводника за счетразрыва ковалентной связи. Разрыв связи приводит к появлению дырки, так каксопровождается образованием свободного уровня в валентной зоне. Примеси,захватывающие электроны из валентной зоны, называют акцепторными илиакцепторами. Энергия активизации акцепторов составляет для германия0,0102-0,0112 эВ и для кремния 0,045-0,072 эВ, что значительно меньше ширинызапрещенной зоны беспримесного полупроводника. Следовательно, энергетическиеуровни примесных атомов располагаются вблизи валентной зоны (рис. 1.5, б).
Ввиду малогозначения энергии активизации акцепторов уже при комнатной температуреэлектроны из валентной зоны переходят на уровни акцепторов. Эти электроны,превращая примесные атомы в отрицательные ионы, теряют способность перемещатьсяпо кристаллической решетке, а образовавшиеся при этом дырки могут участвоватьв создании электрического тока.
За счет ионизации атомовисходного материала из валентной зоны часть электронов попадает в зону проводимости.Однако электронов в зоне проводимости значительно меньше, чем дырок ввалентной зоне. Поэтому дырки в таких полупроводниках являются основными, аэлектроны — неосновными
/>
Рисунок 1.5 Условноеизображение кристаллической решетки (а) и энергетическая диаграмма (б)полупроводника с дырочной электропроводностью.
подвижными носителями заряда.Такие полупроводники носят название полупроводников с дырочнойэлектропроводностью или полупроводников р-типа. В состоянии тепловогоравновесия концентрация дырок в полупроводнике р-типа (/>) и свободных электронов (/>) определяется изсоотношений:
/>; (1.7) /> (1.8)
Из уравнений(1.7) и (1.8) следует, что для полупроводника р-типа выполняется неравенство />>> />.
Если считать,что при комнатной температуре все акцепторные атомы ионизированы, т. е. />=0, то на основаниисоотношения можно записать: />, (1.9)
где Na— концентрация акцепторных атомов в полупроводнике.
Соотношение(1.9) показывает, что уровень Ферми в полупроводнике р-типа располагается внижней половине запрещенной зоны, так как Na>> ni, и при повышении температурысмещается к середине запрещенной зоны за счет ионизации атомов основногополупроводника.
Кроме того, наосновании уравнений (1.4), (1.5), (1.7) и (1.8) можно записать следующеевыражение:
/> (1.10)
которое показывает, что введениев полупроводник примесей приводит к увеличению концентрации одних носителейзаряда и пропорциональному уменьшению концентрации других носителей заряда засчет роста вероятности их рекомбинации.
1.2ТОКИ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
1.2.1Дрейфовый ток
Вполупроводниках свободные электроны и дырки находятся в состоянии хаотическогодвижения. Поэтому, если выбрать произвольное сечение внутри объема полупроводникаи подсчитать число носителей заряда, проходящих через это сечение за единицувремени слева направо и справа налево, значения этих чисел окажутся одинаковыми.Это означает, что электрический ток в данном объеме полупроводника отсутствует.
При помещенииполупроводника в электрическое поле напряженностью Е на хаотическое движение носителейзарядов накладывается составляющая направленного движения. Направленноедвижение носителей зарядов в электрическом поле обусловливает появление тока,называемого дрейфовым (Рисунок 1.6, а ) Из-за столкновения носителей зарядов сатомами кристал- лической решетки их движение в направлении действияэлектрического поля
/>а) б) Рисунок 1.6 Дрейфовый (а) и диффузионный (б) токи в полупроводнике.
прерывисто и характеризуетсяподвижностью m. Подвижность равна среднейскорости />, приобретаемойносителями заряда в направлении действия электрического поля напряженностью Е =1 В/м, т. е.
/>. (1.11)
Подвижностьносителей зарядов зависит от механизма их рассеивания в кристаллическойрешетке. Исследования показывают, что подвижности электронов mn и дырокmpимеют различное значение (mn > mp) и определяются температурой и концентрациейпримесей. Увеличение температуры приводит к уменьшению подвижности, что зависитот числа столкновений носителей зарядов в единицу времени.
Плотность токав полупроводнике, обусловленного дрейфом свободных электронов под действиемвнешнего электрического поля со средней скоростью />,определяется выражением />.
Перемещение(дрейф) дырок в валентной зоне со средней скоростью /> создает в полупроводникедырочный ток, плотность которого />.Следовательно, полная плотность тока в полупроводнике содержит электронную jnи дырочную jр составляющие и равна их сумме (nи p — концентрации соответственно электронов и дырок).
Подставляя ввыражение для плотности тока соотношение для средней скорости электронов идырок (1.11), получаем
/> (1.12)
Если сравнитьвыражение (1.12) с законом Ома j =sЕ, то удельная электропроводностьполупроводника определяется соотношением
/>.
Уполупроводника с собственной электропроводностью концентрация электронов равнаконцентрации дырок (ni = pi),и его удельная электропроводность определяется выражением
/>.
Вполупроводнике n-типа /> > />, и его удельнаяэлектропроводность с достаточной степенью точности может быть определенавыражением
/>.
Вполупроводнике р-типа />> />, и удельная электропроводностьтакого полупроводника
/>
В областивысоких температур концентрация электронов и дырок значительно возрастает засчет разрыва ковалентных связей и, несмотря на уменьшение их подвижности,электропроводность полупроводника увеличивается по экспоненциальному закону.
1.2.2 Диффузионныйток
Крометеплового возбуждения, приводящего к возникновению равновесной концентрациизарядов, равномерно распределенных по объему полупроводника, обогащениеполупроводника электронами до концентрации npи дырками до концентрации pn может осуществлятьсяего освещением, облучением потоком заряжённых частиц, введением их черезконтакт (инжекцией) и т. д. В этом случае энергия возбудителя передаетсянепосредственно носителям заряда и тепловая энергия кристаллической решеткиостается практически постоянной. Следовательно, избыточные носители заряда ненаходятся в тепловом равновесии с решеткой и поэтому называютсянеравновесными. В отличие от равновесных они могут неравномерно распределятьсяпо объему полупроводника (рисунок 1.6, б)
После прекращениядействия возбудителя за счет рекомбинации электронов и дырок концентрацияизбыточных носителей быстро убывает и достигает равновесного значения.
Скоростьрекомбинации неравновесных носителей пропорциональна избыточной концентрациидырок (pn — />) или электронов (np — />):
/>; />,
где tp — время жизни дырок; tn — времяжизни электронов. За время жизни концентрация неравновесных носителейуменьшается в 2,7 раза. Время жизни избыточных носителей составляет0,01...0,001 с.
Носителизарядов рекомбинируют в объеме полупроводника и на его поверхности.Неравномерное распределение неравновесных носителей зарядов сопровождается ихдиффузией в сторону меньшей концентрации. Это движение носителей зарядов обусловливаетпрохождение электрического тока, называемого диффузионным (рисунок 1.6, б).
Рассмотримодномерный случай. Пусть в полупроводнике концентрации электронов n(x) и дырок p(x) являются функциями координаты. Это приведет к диффузионномудвижению дырок и электронов из области с большей их концентрацией в область сменьшей концентрацией.
Диффузионноедвижение носителей зарядов обусловливает прохождение диффузионного токаэлектронов и дырок, плотности которых определяются из соотношений:
/>; (1.13) />; (1.14)
где dn(x)/dx, dp(x)/dx — градиенты концентрацийэлектронов и дырок; Dn, Dp — коэффициенты диффузии электронов и дырок.
Градиент концентрации характеризуетстепень неравномерности распределения зарядов (электронов и дырок) вполупроводнике вдоль какого-то выбранного направления (в данном случае вдольоси x). Коэффициенты диффузии показывают количествоносителей заряда, пересекающих в единицу времени единичную площадку,перпендикулярную к выбранному направлению, при градиенте концентрации в этомнаправлении, равном единице. Коэффициенты
диффузии связаны с подвижностяминосителей зарядов соотношениями Эйнштейна:
/>; />.
Знак«минус» в выражении (1.14) означает противоположную направленностьэлектрических токов в полупроводнике при диффузионном движении электронов идырок в сторону уменьшения их концентраций.
Если вполупроводнике существует и электрическое поле, и градиент концентрацииносителей, проходящий ток будет иметь дрейфовую и диффузионную составляющие. Втаком случае плотности токов рассчитываются по следующим уравнениям:
/>; />.
1.3КОНТАКТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
1.3.1 Электронно-дырочный переход в состоянии равновесия
Принципдействия большинства полупроводниковых приборов основан на физических явлениях,происходящих в области контакта твердых тел. При этом преимущественноиспользуются контакты: полупроводник-полупроводник; металл-полупроводник;металл-диэлектрик-полупроводник.
Если переходсоздается между полупроводниками n-типа и p-типа, то его называют электронно-дырочным или p-n переходом.
Электронно-дырочныйпереход создается в одном кристалле полупроводника с использованием сложных иразнообразных технологических операций.
Рассмотрим p-n переход, в котором концентрациидоноров Nд и акцепторов Naизменяются скачком на границе раздела (рис. 1.7, а). Такой p-n переход называют резким. Равновесная концентрация дырок в p-области (/>)значительно превышает их концентрацию в n-области (/>). Аналогично для электроноввыполняется условие />> />. Неравномерноераспределение концентраций одноименных носителей зарядов в кристалле (рис. 1.7,б) приводит к возникновению диффузии электронов из n-областив p-область и дырок из p-областив n-область. Такое движение зарядов создаетдиффузионный ток электронов и дырок. С учетом выражений (1.13) и (1.14)плотность полного диффузионного тока, проходящего через границу раздела,определится суммой
/>.
Электроны идырки, переходя через контакт навстречу друг другу (благо- даря диффузии),рекомбинируют и в приконтактной области дырочного полу- проводника образуетсянескомпенсированный заряд отрицательных ионов акцепторных примесей, а вэлектронном полупроводнике нескомпенсирован -ный заряд положительных донорныхионов (рис. 1.6, в). Таким образом, электронный полупроводник заряжаетсяположительно, а дырочный — отрицательно. Между областями с различными типамиэлектропроводности возникает собственное электрическое поле напряженностью Eсоб (рис. 1.7, а), созданное двумя слоямиобъемных зарядов.
Этому полюсоответствует разность потенциалов Uк между n- и p-областями, называемаяконтактной (рис. 1.7, г). За пределами области объемного зарядаполупроводниковые области n- и р-типа остаютсяэлектрически нейтральными.
Собственноеэлектрическое поле является тормозящим для основных носителей заряда иускоряющим для неосновных. Электроны p-области и />
Рисунок1.7 Равновесное состояние p-nперехода.
дырки n-области,совершая тепловое движение, попадают в пределы диффузионного электрическогополя, увлекаются им и перебрасываются в противоположные области, образуя токдрейфа, или ток проводимости.
Выведение носителей заряда из области полупроводника,где они являются неосновными, через электронно-дырочный переход ускоряющимэлектрическим полем называют экстракцией носителей заряда.
Используявыражение (1.12) и учитывая, что Е = -dU/dx, определяем плотность полного дрейфового тока через границураздела p- и n-областей:
/>.
Так как черезизолированный полупроводник ток проходить не должен, между диффузионным идрейфовым токами устанавливается динамическое равновесие:
/>. (1.15)
Приконтактнуюобласть, где имеется собственное электрическое поле, называют p-n переходом.
Посколькупотенциальная энергия электрона и потенциал связаны соотношением W = -qU, образование нескомпенсированныхобъемных зарядов вызывает понижение энергетических уровней n-областии повышение энергетических уровней р-области. Смещение энергетических диаграммпрекратится, когда уровни Ферми Wфn и Wфp совпадут (рис. 1.7, д). При этом на границе раздела (x = 0) уровень Ферми проходит через середину запрещеннойзоны. Это означает, что в плоскости сечения x = 0 полупроводникхарактеризуется собственной электропроводностью и обладает по сравнению состальным объемом повышенным сопротивлением. В связи с этим его называют запирающимслоем или областью объемного заряда.
Совпадениеуровней Ферми n- и p-областейсоответствует установлению динамического равновесия между областями ивозникновению между ними потенциального барьера Ukдля диффузионного перемещения через p-nпереход электронов n-области и дырок p-области.
Из рис. 1.7,д следует, что потенциальный барьер
/>.
Подстановка вэто выражение результатов логарифмирования соотношений (1.4), (1.7) позволяетполучить следующее равенство:
/>.
Еслиобозначить jт = kT/q и учесть уравнение (1.10), томожно записать:
/>; (1.16) />. (1.17)
Из уравнений(1.16) и (1.17) следует:
/>; />. (1.18)
При комнатнойтемпературе (Т = 300 К) jт » 0,026 В.
Таким образом,контактная разность потенциалов зависит от отношения концентраций носителейзарядов одного знака в р- и n-областях полупроводника.
Другим важнымпараметром p-n переходаявляется его ширина, обозначаемая d = dp + dn.
Ширинузапирающего слоя d можно найти, решивуравнения Пуассона для n-области и p-области:
/>; (1.19) />. (1.20)
Решенияуравнений (1.19) и (1.20) при граничных условиях
/>; /> />; />
имеют вид:
/> для-dp
/> для 0
В точке x = 0 оба решения должны давать одинаковые значения j и />.Приравняв /> и /> , можно записать:
/>. (1.22)
Из равенства(1.22) видно, что ширина слоев объемных зарядов в n-и p-областях обратно пропорциональна концентрациямпримесей и в несимметричном переходе запирающий слой расширяется в область сменьшей концентрацией примесей.
На основанииравенства (1.22) можно записать:
/>; />, (1.23)
где d = dn + dр.
Приравниваяправые части уравнений (1.21) и учитывая соотношения (1.23), при x = 0 получаем
/>.
На основанииэтого выражения формулу для определения ширины запирающего слоя p-n перехода можно записать вследующем виде:
/>. (1.24)
Из соотношения(1.24) видно, что на ширину запирающего слоя существенное влияние оказываетконцентрация примесных атомов. Увеличение концентрации примесных атомов сужаетзапирающий слой, а уменьшение расширяет его. Это часто используется для приданияполупроводниковым приборам требуемых свойств.
1.3.2 Прямое включение p-nперехода
Прииспользовании p-n перехода вполупроводниковых приборах к нему подключается внешнее напряжение. Величина иполярность этого внешнего напряжения определяют электрический ток, проходящийчерез p-n переход.
Еслиположительный полюс источника питания подключается к
р-области, а отрицательный полюс- к n-области, то включение p-n перехода называют прямым. При изменении указаннойполярности источника питания включение p-n перехода называют обратным.
Прямоевключение p-n перехода показанона рис. 1.8. Поскольку сопротивление p-n перехода значительно превышает сопротивление нейтральных p- и n-областей, внешнее напряжениеUпр почти полностью падает на этом переходе.
Прямоенапряжение создает в переходе внешнее электрическое поле, направленноенавстречу собственному.
Напряженностьрезультирующего поля падает, и уровни Ферми смещаются таким образом, чтопотенциальный барьер уменьшается до Uк — Uпр. Это сопровождаетсясужением запирающего слоя, ширина которого может быть найдена из соотношения(1.24) подстановкой вместо Uк величины Uк — Uпр:
/>.
В результатеснижения потенциального барьера большее количество основных носителей зарядовполучает возможность диффузионно переходить в соседнюю область, чтосопровождается ростом тока диффузии. Ток дрейфа при этом не изменится,поскольку он зависит от количества неосновных носителей, появляющихся награницах p-n перехода. Это количество зависит только отконцентрации примесей в полупроводнике и температуры.
Увеличениедиффузионной составляющей тока через p-n переход при неизменной дрейфовой составляющей приводит кнарушению термодинамического равновесия, устанавливаемого выражением (1.15).Через переход будет проходить результирующий ток, определяемый диффузионнойсоставляющей.
Дополнительнаядиффузия носителей зарядов приводит к тому, что на границе p-n перехода повышаются концентрации дырок в области n-типа до некоторого значения /> и электронов в p-области до значения />.Повышение концентраций неосновных носителей в p- и n-областях вследствие влияния внешнего напряжения,приложенного к электронно-дырочному переходу,
/>
Рисунок 1.8 Прямоевключение p-n перехода.
получило название инжекции неосновных носителей.Область, из которой происходит инжекция, называют эмиттером, а область, вкоторую осуществляется инжекция, — базой.
Поскольку припрямом включении p-n переходапотенциальный барьер уменьшается, концентрации неосновных носителей награницах p-n перехода могутбыть рассчитаны по формулам (1.18) при замене Uк величиной Uк — Uпр. Тогда:
/>; (1.25)
/>. (1.26)
Из выражений(1.25) и (1.26) следует, что на границах p-n перехода под действием прямого напряжения Uпрпроисходит увеличение концентраций неосновных носителей.
Неравновесныенеосновные носители зарядов диффундируют в глубь полупроводника и нарушают егоэлектронейтральность. Восстановление нейтрального состояния полупроводниковпроисходит за счет поступления носителей зарядов от внешнего источника. Этоявляется причиной возникновения тока во внешней цепи, называемого прямым иобозначаемого Iпр.
Концентрациинеосновных носителей в нейтральной области полупроводника зависят от координатыx. Закон их распределения может быть найден путемрешения уравнения непрерывности для установившегося состояния, т. е.состояния, при котором концентрация неосновных носителей не изменяется вовремени. Этому условию соответствуют уравнения непрерывности, которые при Е =0 записываются в следующем виде:
/>; (1.27) />; (1.28)
где /> - диффузионная длина дырокв n-области; />-диффузионная длина электронов в p-области.
Решенияуравнений непрерывности (1.27) и (1.28) для нейтральной области полупроводников(начало отсчета координаты совпадает с границами p-nперехода) при очевидных из рис. 1.7 начальных условиях и с учетом соотношений(1.25) и (1.26) имеют вид:
/>; (1.29)
/>. (1.30)
Таким образом,на границе запирающего слоя (x = 0) за счет инжекцииконцентрация носителей повышается и достигает следующих значений:
/>; />.
Уравнения(1.29) и (1.30) показывают, что в неравновесном состоянии при удалении от p-n перехода концентрации неосновныхносителей зарядов вследствие рекомбинации убывают по экспоненциальному законуот значений /> и /> до /> и />.
При x = Lp и x= Ln концентрации неосновных носителейуменьшаются в 2,7 раза. Таким образом, диффузионная длина — это расстояние, накотором концентрация неосновных носителей в неравновесном состоянии уменьшаетсяв е раз.
1.3.3Обратное включение р-п-перехода
При включении p-nперехода в обратном направлении (рис. 1.9) внешнее обратное напряжение Uобр создает электрическое поле, совпадающее понаправлению с собственным, что приводит к росту потенциального барьера на
/>
Рисунок 1.9 Обратноевключение p-n перехода.
величину Uобри увеличению относительного смещения энергетических диаграмм на q(Uk + Uобр).Это сопровождается увеличением ширины запирающего слоя, которая может бытьнайдена из соотношения (1.24) подстановкой вместо Ukвеличины Uk + Uобр.
/>. (1.31)
Возрастаниепотенциального барьера уменьшает диффузионные токи основных носителей (т. е.меньшее их количество преодолеет возросший потенциальный барьер). Длянеосновных носителей поле в p-nпереходе остается ускоряющим, и поэтому дрейфовый ток, как было показано в п.1.3.2, не изменится.
Уменьшениедиффузионного тока приведет к нарушению условия равновесия, устанавливаемоговыражением (1.15). Через переход будет проходить результирующий ток,определяемый в основном током дрейфа неосновных носителей.
Концентрациянеосновных носителей у границ p-n перехода вследствие уменьшения диффузионного перемещенияосновных носителей уменьшится до некоторых значений /> и />. По мере удаления от p-n перехода концентрация неосновныхносителей будет возрастать до равновесной. Значение концентрации неосновныхносителей заряда на любом удалении x от границ p-n перехода можно рассчитать последующим формулам, полученным при решении уравнения непрерывности дляобратного, включения p-nперехода:
/>; (1.32)
/>. (1.33)
1.3.4Теоретическая вольтамперная характеристика p-n перехода
Вольтампернаяхарактеристика представляет собой график зависимости тока во внешней цепи p-n перехода от значения и полярностинапряжения, прикладываемого к нему. Эта зависимость может быть получена экспериментальноили рассчитана на основании уравнения вольтамперной характеристики.
При включении p-n перехода в прямом направлении в результате инжекциивозникает прямой диффузионный ток.
Уравнения дляплотности электронной и дырочной составляющих прямого тока получаютсяподстановкой соотношений (1.29) и (1.30) в (1.13) и (1.14) и, записываются вследующем виде:
/>; />.
Плотностьпрямого тока, проходящего через p-n переход, можноопределить как сумму jпр = jn диф + jpдиф, не изменяющуюся при изменении координаты х. Если считать, что взапирающем слое отсутствуют генерация и рекомбинация носителей зарядов, топлотность прямого тока, определяемая на границах p-n перехода (при x = 0),
/>. (1.34)
Включение p-nперехода в обратном направлении приводит к обеднению приконтактной областинеосновными носителями и появлению градиента их концентрации. Градиентконцентрации является причиной возникновения диффузионного тока неосновныхносителей.
На основаниисоотношений (1.13), (1.14) и (1.32), (1.33) выражение для расчета плотностиобратного тока может быть записано в виде
/>. (1.35)
Объединяявыражения (1.34) и (1.35), можно записать уравнение для плотности тока в общемвиде:
/>, (1.36) где />.
Величину js называют плотностью тока насыщения. Умножив правую илевую части выражения (1.36) на площадь П p-n перехода, получим уравнениетеоретической вольтамперной характеристики:
/>, (1.37)
где IS — ток насыщения. В это уравнение напряжение U подставляется со знаком «плюс» при включении p-n перехода в прямом направлении и со знаком «минус»при обратном включении.
Уравнение(1.37) позволяет рассчитать теоретическую вольтамперную характеристику тонкогоэлектронно-дырочного перехода, в котором отсутствуют генерация и рекомбинацияносителей зарядов.
Теоретическаявольтамперная характеристика p-n перехода, построеннаяна основании уравнения (1.37), приведена на рис. 1.10. При увеличении
/>
Рисунок 1.10Теоретическая вольтамперная характеристика p-n перехода.
обратного напряжения ток через p-n переход стремится к предельномузначению js, которого достигает приобратном напряжении примерно 0,1...0,2 В.
На основаниисоотношений (1.2), (1.5), (1.8) и (1.10), считая, что все атомы примесейионизированы, т. е. /> = Na, для области рабочих температур можнозаписать: />. (1.38)
Из соотношения(1.38) видно, что чем больше ширина запрещенной зоны полупроводника иконцентрация примесей доноров и акцепторов, тем меньше ток насыщения, а сувеличением температуры ток насыщения растет по экспоненциальному закону.
Процессыгенерации и рекомбинации носителей в запирающем слое оказывают существенноевлияние на вид вольтамперной характеристики. В отсутствие внешнего напряжениямежду процессами генерации и рекомбинации устанавливается равновесие. При приложениик p-n переходу обратного напряжения дырки и электроны, образующиеся врезультате генерации, выводятся полем запирающего слоя. Это приводит квозникновению дополнительного тока генерации Iген,совпадающего с обратным током p-n перехода. Можно показать, что при /> = /> , tn = tр = t0и Ln = Lp= L0справедливо соотношение
/>, (1.39)
где d0 — толщина запирающего слоя.
Из выражения(1.39) видно, что генерационная составляющая обратного тока растет приувеличении ширины запрещенной зоны полупроводника, так как при этом уменьшаетсязначение ni, а также при увеличении концентрациипримесей, при которой возрастает />.Например, при одинаковых значениях d0и L0для германия ni = 2,5×1013 см-3 (DW = 0,67эВ) и Iген= 0,1×Is, а длякремния ni = 6,8×1010 см-3 (DW = 1,12эВ) и Iген = 3000×IS,.
Таким образом,если в германиевых p-n переходах током генерации можно пренебречь, то вкремниевых p-n переходах он является основной составляющей обратного тока.Поэтому на вольтамперных характеристиках кремниевых p-n переходов нетвыраженного участка насыщения.
1.3.5Реальная вольтамперная характеристика p-nперехода
При выводеуравнения (1.37) не учитывались такие явления, как термогенерация носителей взапирающем слое перехода, поверхностные утечки тока, падение напряжения насопротивлении нейтральных областей полупроводника, а также явления пробоя приопределенных обратных напряжениях. Поэтому экспериментальная вольтампернаяхарактеристика p-n перехода (кривая 2 на рис. 1.11) отличается от теоретической(кривая 1).
При обратномвключении p-n перехода отличия обусловлены генерацией носителей зарядов ипробоем p-n перехода. Количество генерируемых носителей пропорционально объемузапирающего слоя, который зависит от ширины p-n перехода. Поскольку шириназапирающего слоя пропорциональна />,ток генерации будет расти при увеличении обратного напряжения. Поэтому нареальной характеристике при увеличении обратного напряжения до определенногозначения наблюдается небольшой рост обратного тока. Возрастанию обратного токаспособствуют также токи утечки.
При некоторомобратном напряжении наблюдается резкое возрастание обратного тока. Это явлениеназывают пробоем p-n перехода. Существуют три вида пробоя: туннельный,лавинный и тепловой. Туннельный и лавинный пробои представляют собойразновидности электрического пробоя
/>
Рисунок 1.11 Отличиереальной вольтамперной характеристики p-n перехода
от теоретической.
и связаны с увеличениемнапряженности электрического поля в переходе. Тепловой пробой определяетсяперегревом перехода.
Туннельныйпробой обусловлен прямым переходом электронов из валентной зоны одногополупроводника в зону проводимости другого, что становится возможным, еслинапряженность электрического поля в p-n переходе из кремния достигает значения4×105 В/см, а изгермания -2×105 В/см.Такая большая напряженность электрического поля возможна при высокойконцентрации примесей в p- и n-областях, когда толщина p-n перехода становитсявесьма малой (см. формулу (1.31)). Под действием сильного электрического полявалентные электроны вырываются из связей. При этом образуются парные зарядыэлектрон-дырка, увеличивающие обратный ток через переход. На рис. 1.10 кривая 5представляет собой обратную ветвь вольт-амперной характеристики перехода,соответствующую туннельному пробою.
В широких p-nпереходах, образованных полупроводниками с меньшей концентрацией примесей,вероятность туннельного просачивания электронов уменьшается и более вероятнымстановится лавинный пробой. Он возникает тогда, когда длина свободного пробегаэлектрона в полупроводнике значительно меньше толщины p-n перехода. Если завремя свободного пробега электроны приобретают кинетическую энергию,достаточную для ионизации атомов в p-n переходе, наступает ударная ионизация,сопровождающаяся лавинным размножением носителей зарядов. Образовавшиеся врезультате ударной ионизации свободные носители зарядов увеличивают обратныйток перехода. Увеличение обратного тока характеризуется коэффициентомлавинного умножения М:
/>, (1.40)
где UПРОБ- напряжение начала пробоя; m зависит от материала полупроводника. На рис 1.11 лавинномупробою соответствует кривая 4.
Тепловойпробой обусловлен значительным ростом количества носителей зарядов в p-nпереходе за счет нарушения теплового режима. Подводимая к p-nпереходу мощность Рподв = IобрUобррасходуется на его нагрев.
Выделяющаяся взапирающем слое теплота отводится преимущественно за счет теплопроводности.Отводимая от p-n перехода мощность Ротв пропорциональна разноститемператур перехода Tпер и окружающей среды Токр:
/>,
где Rт — тепловое сопротивление, 0К/Вт, определяющее перепад температур,необходимый для отвода 1 Вт мощности от p-n перехода в окружающую среду.
При плохихусловиях отвода теплоты от перехода возможен его разогрев до температуры, прикоторой происходит тепловая ионизация атомов. Образующиеся при этом носителизаряда увеличивают обратный ток, что приводит к дальнейшему разогреву перехода.В результате такого нарастающего процесса p-n переход недопустимо разогреваетсяи возникает тепловой пробой, характеризующийся разрушением кристалла (кривая3).
Увеличениечисла носителей зарядов при нагреве p-n перехода приводит к уменьшению егосопротивления и выделяемого на нем напряжения. Вследствие этого на обратнойветви вольтамперной характеристики при тепловом пробое появляется участок сотрицательным дифференциальным сопротивлением (участок АВ на рис. 1.11).
Отличияреальной характеристики от теоретической на прямой ветви, в основном,обусловлены распределенным (объёмным) сопротивлением электронной и дырочнойобластей r1 за пределами запирающего слоя (рисунок 1.12).
Еслисопротивление запирающего слоя обозначить rд,то кристалл полупроводника с запирающим слоем можно представить в видепоследовательного соединения резисторов rди r1.
Припрохождении тока IПР на сопротивлении r1падает часть напряжения внешнего источника и на запирающем слое действуетнапряжение UПЕР = UПР– IПР×r1.Уравнение вольтамперной характеристики в этом случае может быть записано вследующем неявном виде:
/>.
/>
Рисунок 1.12Упрощенная эквивалентная схема p-nперехода с распределенным сопротивлением полупроводника.
Поскольку UПЕР
1.3.6Емкости p-n перехода
Изменениевнешнего напряжения dU на p-n переходе приводит кизменению накопленного в нем заряда dQ. Поэтому p-nпереход ведет себя подобно конденсатору, емкость которого С = dQ/ dU.
В зависимостиот физической природы изменяющегося заряда различают емкости барьерную (зарядную)и диффузионную.
Барьерная(зарядная) емкость определяется изменением нескомпенсированного заряда ионовпри изменении ширины запирающего слоя под воздействием внешнего обратногонапряжения. Поэтому идеальный электронно-дырочный переход можно рассматриватькак плоский конденсатор, емкость которого определяется соотношением
/>, (1.41)
где П, d — соответственно площадь и толщина p-n перехода.
Из соотношений(1.41) и (1.31) следует
/>.
В общем случаезависимость зарядной емкости от приложенного к p-n переходуобратного напряжения выражается формулой
/>,
где C0— емкость p-n перехода при UОБР = 0; g — коэффициент, зависящий от типа p-n перехода (для резких p-nпереходов g = 1/2, а для плавных g = 1/3).
Барьернаяемкость увеличивается с ростом NА и NД,а также с уменьшением обратного напряжения. Характер зависимости СБАР= f(UОБР) показан на рис. 1.13, а.
Рассмотримдиффузионную емкость. При увеличении внешнего напряжения, приложенного к p-nпереходу в прямом направлении, растет концентрация инжектированных носителейвблизи границ перехода, что приводит к изменению количества заряда,обусловленного неосновными носителями в p- и n-областях. Это можно рассматриватькак проявление некоторой емкости. Поскольку она зависит от изменениядиффузионной составляющей тока, ее называют диффузионной. Диффузионнаяемкость представляет собой отношение приращения инжекционного заряда dQинжк вызвавшему его изменению напряжения dUпр,т. е. />. Воспользовавшисьуравнением (1.30), можно определить заряд инжектированных носителей, напримердырок в n-области:
.
/> а) б)
Рисунок 1.13Зависимость барьерной (а) и диффузионной (б) емкостей p-n перехода от напряжения.
/>.
Тогдадиффузионная емкость, обусловленная изменением общего заряда неравновесныхдырок в n-области, определится по формуле
/>.
Аналогично длядиффузионной емкости, обусловленной инжекцией электронов в p-область,
/>.
/>
Рисунок 1.13Эквивалентная схема p-nперехода.
Общаядиффузионная емкость
/>.
Зависимость ёмкости от прямого напряжения на p-n переходе показана на рисунке1.13, б.
Полная емкостьp-n перехода определяется суммойзарядной и диффузионной емкостей:
/>.
При включенииp-n перехода в прямом направлении преобладает диффузионная емкость, а привключении в обратном направлении — зарядная.
На рис. 1.14приведена эквивалентная схема p-n перехода по переменному току. Схема содержитдифференциальное сопротивление p-n перехода rД, диффузионнуюемкость СДИФ, барьерную емкость СБАР и сопротивление объемаp- и n-областей r1. На основании уравнения (1.37) можно записать:
/>.
Если припрямом включении p-n перехода Uпр >> jт, то:
/>; />.
При комнатной температуре />; (1.42)
(в соотношении (1.42) значениетока подставляется в амперах). Сопротивление утечки rУТучитывает возможность прохождения тока по поверхности кристалла из-за несовершенстваего структуры. При прямом включении p-nперехода СБАР
/>а) б)
Рисунок 1.15Упрощенные эквивалентные схемы p-nперехода.
При обратномсмещении rД ОБР >> r1,СБАР >> СДИФ и эквивалентная схема имеет вид,показанный на рис. 1.15, б.
1.4 РАЗНОВИДНОСТИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЕРЕХОДОВ
1.4.1 Гетеропереходы
Гетеропереходобразуется двумя полупроводниками, различающимися шириной запрещенной зоны.Параметры кристаллических решеток полупроводников, составляющих гетеропереход,должны быть близки, что ограничивает выбор материалов. В настоящее времянаиболее исследованными являются пары: германий-арсенид галлия, арсенидгаллия-мышьяковидный индий, германий-кремний. Различают n-p и p-nгетеропереходы (на первое место ставится буква, обозначающая типэлектропроводности полупроводника с более узкой запрещенной зоной). На основегетеропереходов возможно также создание структур n-n и p-p.
/>
Рисунок 1.16Упрощенная энергетическая диаграмма p-nгетероперехода в равновесном состоянии.
На рисунке1.16 приведена упрощенная энергетическая диаграмма n-p перехода между арсенидом галлия р-типа (DWP = 1,5эВ) и германием n-типа (DWn = 0,67 эВ) в состоянииравновесия (U = 0). При контакте полупроводниковпроисходит перераспределение носителей зарядов, приводящее к выравниваниюуровней Ферми p- и n-областей ивозникновению энергетического барьера для электронов n-областиq×Uknи. для дырок p-области q×Uкp, причем Uкn > Uкp.
/>
Рисунок 1.17Упрощенная энергетическая диаграмма p-nгетероперехода, включенного в прямом состоянии.
В состоянииравновесия ток через n-p переход равен нулю. Посколькупотенциальные барьеры для дырок и электронов различны, при приложении к гетеропереходупрямого напряжения смещения он обеспечит эффективную инжекцию дырок изполупроводника с большей шириной запрещенной зоны (рис. 1.17).
1.4.2Контакт между полупроводниками одного типа электропроводности
Контактполупроводников с одним типом электропроводности, но с разной концентрациейпримесей обозначают р+-р или п+-п (знаком«плюс» отмечается полупроводник с большей концентрацией примесей). Втаких контактах носители из области с большей концентрацией примеси переходятв область с меньшей концентрацией. При этом в области с повышеннойконцентрацией нарушается компенсация зарядов ионизированных атомов примеси, а вдругой области создается избыток основных носителей зарядов. Образование этихзарядов приводит к появлению на переходе собственного электрического поля и контактнойразности потенциалов, определяемой следующими соотношениями: для p+-р перехода
/>;
для n+-nперехода />.
В этихпереходах не образуется слой с малой концентрацией носителей зарядов, и ихсопротивление определяется в основном сопротивлением низкоомной области. Поэтомупри прохождении тока непосредственно на контакте падает небольшое напряжение ивыпрямительные свойства этих переходов не проявляются. В p+-p и n+-n- переходахотсутствует инжекция неосновных носителей из низкоомной области в высокоомную.Если, например, к переходу n+-n подключен источник тока плюсом к n-области,а минусом к n+-области, то из n+-областив n-область будут переходить электроны, являющиеся в ней основными носителямизарядов. При изменении полярности внешнего напряжения из n+-областив n-область должны инжектироваться дырки, однако ихконцентрация мала, и этого явления не происходит. Переходы типа p+-p и n+-n возникают при изготовлении омических контактов кполупроводникам.
/>
Рисунок 1.18Энергетическая диаграмма p-iперехода.
Промежуточноеположение между p+-p- или n+-n- и p-n переходом занимают p-i и n-iпереходы. Такие переходы образуются между двумя пластинами, одна из которыхимеет электронную или дырочную электропроводность, а другая — собственную.
На рис 1.18показаны энергетическая диаграмма и изменение концентраций на границе двух полупроводниковс p- и i-областями. Вследствиеразности концентраций носителей зарядов в p- и i-областях происходит инжекция дырок из p-областив i-область и электронов из i-областив p-область. Вследствие малой величины инжекционнойсоставляющей электронного тока потенциальный барьер на границе перехода создаетсянеподвижными отрицательными ионами акцепторов р-области и избыточными дырками i-области, диффундирующими в нее из p-области.Поскольку /> >> />, глубина распространениязапирающего слоя в i-области значительно больше, чем вр-области.
1.4.3Контакт металла с полупроводником
Свойстваконтакта металла с полупроводником зависят от работы выхода электронов изметалла (W0м) и из полупроводника (W0n или W0p). Электроныпереходят из материала с меньшей работой выхода в материал с большей работойвыхода. При контакте металла с электронным полупроводником при выполненииусловия W0n
Обедненныйслой обладает повышенным сопротивлением, которое может изменяться подвоздействием внешнего напряжения. Следовательно, такой контакт имеет нелинейнуюхарактеристику и является выпрямляющим. Перенос зарядов в этих контактахосуществляется основными носителями, и в них отсутствуют явления инжекции,накопления и рассасывания зарядов. Таким образом, выпрямляющие контактыметалл-полупроводник малоинерционны и служат основой создания диодов сбарьером Шоттки, обладающих высоким быстродействием и малым временем переключения.
Если приконтакте металла с полупроводником выполняется условие W0м W0p,то приконтактный слой полупроводника обогащается основными носителями заряда иего сопротивление становится низким при любой полярности внешнего напряжения.Такой контакт имеет практически линейную характеристику и являетсяневыпрямляющим.
1.4.4Омические контакты
Омическиминазывают контакты, сопротивление которых не зависит от величины и направлениятока. Другими словами, это контакты, обладающие практически линейнойвольт-амперной характеристикой. Омические контакты обеспечивают соединениеполупроводника с металлическими токопроводящими элементами полупроводниковыхприборов. Кроме линейности вольт-амперной характеристики, эти контакты должныиметь малое сопротивление и обеспечивать отсутствие инжекции носителей из металловв полупроводник. Эти условия выполняются путем введения между полупроводникомрабочей области кристалла и металлом полупроводника с повышенной концентрациейпримеси (рис. 1.19). Контакт между полупроводниками с одинаковым типомэлектропроводности является невыпрямляющим и низкоомным. Металл выбирают так,чтобы обеспечить малую контактную разность потенциалов. Одним из способовполучения омических контактов является введение в металл примеси, которойлегирован полупроводник. В этом случае при сплавлении металла с полупроводникомв контактной области образуется тонкий слой вырожденного полупроводника, чтосоответствует структуре, изображенной на рис. 1.19.
/>
Рисунок 1.19Структура омического контакта.
1.4.5Явления на поверхности полупроводника
В результатевзаимодействия полупроводника и окружающей среды на поверхности кристаллаобразуются различные соединения, отличающиеся по своим свойствам от основногоматериала. Кроме того, обработка кристалла приводит к дефектам кристаллическойрешетки на поверхности полупроводника. По этим причинам возникают поверхностныесостояния, повышающие вероятность появления свободных электронов илинезаполненных ковалентных связей. Энергетические уровни поверхностных состояниймогут располагаться в запрещенной энергетической зоне и соответствоватьдонорным и акцепторным примесям.
Поверхностныесостояния меняют концентрацию носителей заряда, и в приповерхностном слоеполупроводника возникает объемный заряд, приводящий к изменению уровня Ферми.Поскольку в состоянии равновесия уровень Ферми во всем кристалле полупроводникаодинаков, поверхностные состояния вызывают искривление энергетических уровнейв приповерхностном слое полупроводника.
В зависимостиот типа полупроводника и характера поверхностных состояний может происходитьобеднение или обогащение поверхности кристалла носителями заряда.
Обеднениевозникает в том случае, если поверхностный заряд совпадает по знаку с основныминосителями заряда. На рис. 1.20 показано образование обедненного слоя наповерхности полупроводника n-типа при такой плотностиповерхностных состояний, что уровни Win и Wфn непересекаются. Повышение плотности пространственного заряда может привести кпересечению уровня Ферми с уровнем середины запрещенной зоны (рис. 1.21), чтосоответствует изменению типа электропроводности у поверхности полупроводника.Это явление называют инверсией типа электропроводности, а слой, в котором. ононаблюдается, — инверсным слоем.
/>Рис. 1.20 Образование обедненного слоя на поверхности полупроводника n-типа. Рис. 1.21 Изменение типа электропроводимости на поверхности полупроводника n-типа.
Если знакиповерхностного заряда и основных носителей противоположны, происходитобогащение приповерхностной области основными носителями зарядов. Такую областьназывают обогащенным слоем (рис. 1.22).
Электропроводностьприповерхностного слоя полупроводника может изменяться под действиемэлектрического поля, возникающего за счет напряжения, прикладываемого кметаллу и полупроводнику, разделенным диэлектриком. Если предположить, что довключения напряжения поверхностные состояния на границе полупроводника идиэлектрика отсутствуют, то электропроводности приповерхностного слоя иобъема полупроводника будут одинаковыми.
При включениинапряжения между металлом и полупроводником возникает электрическое поле, и наповерхности металла и в приповерхностном слое полупроводника, как напластинах конденсатора, накапливаются заряды. Например, если полупроводникэлектронный и к нему прикладывается отрицательное напряжение, то под действиемэлектрического поля у
/>Рисунок 1.22 Образование обогащенного слоя на поверхности полупроводника n-типа. Рисунок 1.23 График изменения типа электропроводности на поверхности полупроводника.
поверхности увеличиваютсяконцентрация электронов и электропроводность приповерхностного слояполупроводника (см. рис. 1.22). При изменении полярности напряженияконцентрация электронов в приповерхностном слое уменьшается, а дырок — увеличивается.В связи с этим электропроводность приконтактной области уменьшается, стремясь ксобственной. Увеличение напряжения приводит к тому, что концентрация дырокстановится выше концентрации электронов и происходит изменение (инверсия) типаэлектропроводности слоя. При этом электропроводность приповерхностного слояувеличивается. Зависимость электропроводности приповерхностного слояполупроводника n-типа от напряжения показана на рис.1.23. Это явление принято называть эффектом поля.
2 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДИОДЫ
2.1Классификация
Классификацияполупроводниковых диодов производится по следующим признакам:
— методуизготовления перехода: сплавные, диффузионные, планарные, точечные, диодыШоттки и др.;
— материалу:германиевые, кремниевые, арсенидо-галлиевые и др.;
— физическимпроцессам, на использовании которых основана работа диода: туннельные,лавинно-пролетные, фотодиоды, светодиоды. диоды Ганна и др.;
— назначению:выпрямительные, универсальные, импульсные, стабилитроны, детекторные,параметрические, смесительные, СВЧ-диоды и др.
Некоторые изуказанных типов диодов по назначению будут рассмотрены в настоящей главе, адругие — в соответствующих разделах учебного пособия.
2.2Выпрямительные диоды
Выпрямительнымиобычно называют диоды, предназначенные для преобразования переменногонапряжения промышленной частоты (50 или 400 Гц) в постоянное. Основой диодаявляется обычный p-n переход.В практических случаях p-nпереход диода имеет достаточную площадь для того, чтобы обеспечить большойпрямой ток. Для получения больших обратных (пробивных) напряжений диод обычновыполняется из высокоомного материала.
Основнымипараметрами, характеризующими выпрямительные диоды, являются (рисунок 2.1):
— максимальныйпрямой ток Iпр max;
— падениенапряжения на диоде при заданном значении прямого тока Iпр(Uпр » 0.3...0,7 В для германиевых диодов и Uпр» 0,8...1,2 В -длякремниевых);
— максимальнодопустимое постоянное обратное напряжение диода
Uобр max ;
— обратный токIобр при заданном обратном напряжении Uобр (значение обратного тока германиевых диодовна два -три порядка больше, чем у кремниевых);
— барьернаяемкость диода при подаче на него обратного напряжения некоторой величины;
— диапазончастот, в котором возможна работа диода без существенного снижениявыпрямленного тока;
— рабочийдиапазон температур (германиевые диоды работают в диапазоне -60...+70°С,кремниевые — в диапазоне -60...+150°С, что объясняется малыми обратными токамикремниевых диодов).
/>
Рисунок 2.1 К определению параметров выпрямительных диодов.
Выпрямительныедиоды обычно подразделяются на диоды малой, средней и большой мощности,рассчитанные на выпрямленный ток до 0.3, от 0,3 до 10 и свыше 10 Асоответственно.
Для работы навысоких напряжениях (до 1500 В) предназначены выпрямительные столбы,представляющие собой последовательно соединенные p-n переходы, конструктивно объединенные в одном корпусе.Выпускаются также выпрямительные матрицы и блоки, имеющие в одном корпусе почетыре или восемь диодов, соединенные по мостовой схеме выпрямителя и имеющие Iпр max до 1 Аи Uo6p max до 600 В.
При протеканиибольших прямых токов Iпр и определенном падениинапряжения на диоде Uпp B нем выделяется большая мощность.Для отвода данной мощности диод должен иметь большие размеры p-n перехода, корпуса и выводов. Для улучшения теплоотвода используютсярадиаторы или различные способы принудительного охлаждения (воздушное или дажеводяное).
Средивыпрямительных диодов следует выделить особо диод с барьером Шоттки. Этот диодхарактеризуется высоким быстродействием и малым падением напряжения (Uпp
2.3Стабилитроны и стабисторы
Стабилитрономназывается полупроводниковый диод, на обратной ветви ВАХ которого имеетсяучасток с сильной зависимостью тока от напряжения (рисунок 2.2), т.е. сбольшим значением крутизны DI/DU (DI= Icт max — Iстmin). Если такой участоксоответствует прямой ветви ВАХ, то прибор называется стабистором.
Стабилитроныиспользуются для создания стабилизаторов напряжения.
Напряжениестабилизации Uст равно напряжениюэлектрического (лавинного) пробоя p-nперехода при некотором заданном токе стабилизации Iст(рисунок ). Стабилизирующие свойства характеризуются дифференциальнымсопротивлением стабилитрона rд = DU/DI,которое должно быть возможно меньше.
/>
К параметрамстабилитрона относятся: напряжение стабилизации Ucт,минимальный и максимальный токи стабилизации Iст min Iст max.
Промышленностью выпускаютсястабилитроны с параметрами: Ucтот 1,5 до 180 В, токи стабилизации от 0,5 мА до 1,4 А.
Выпускаютсятакже двуханодные стабилитроны, служащие для стабилизации разнополярныхнапряжений и представляющие собой встречно включенные p-n переходы.
Рисунок 2.2 К определению параметров стабилитронов.
2.4Универсальные и импульсные диоды
Ониприменяются для преобразования высокочастотных и импульсных сигналов. В данныхдиодах необходимо обеспечить минимальные значения реактивных параметров, чтодостигается благодаря специальным конструктивно-технологическим мерам.
Одна изосновных причин инерционности полупроводниковых диодов связана с диффузионнойемкостью. Для уменьшения времени жизни tиспользуется легирование материала (например, золотом), что создает многоловушечных уровней в запрещенной зоне, увеличивающих скорость рекомбинации иследовательно уменьшается Сдиф.
Разновидностьюуниверсальных диодов является диод с короткой базой. В таком диоде протяженностьбазы меньше диффузионной длины неосновных носителей. Следовательно,диффузионная емкость будет определяться не временем жизни неосновных носителейв базе, а фактическим меньшим временем нахождения (временем пролета). Однакоосуществить уменьшение толщины базы при большой площади p-n перехода технологически очень сложно. Поэтому изготовляемыедиоды с короткой базой при малой площади являются маломощными.
В настоящеевремя широко применяются диоды с p-i-n-структурой, в которой две сильнолегированные области p- и n-типа разделены достаточноширокой областью с проводимостью, близкой к собственной (i-область).Заряды донорных и акцепторных ионов расположены вблизи границ i-области.Распределение электрического поля в ней в идеальном случае можно считатьоднородным (в отличие от обычного p-nперехода). Таким образом, i-область с низкойконцентрацией носителей заряда, но обладающей диэлектрической проницаемостьюможно принять за конденсатор, «обкладками» которого являются узкие (из-забольшой концентрации носителей в p- и n-областях)слои зарядов доноров и акцепторов. Барьерная емкость p-i-n диода определяется размерами i-слоя и при достаточно широкой области от приложенногопостоянного напряжения практически не зависит.
Особенностьработы p-i-n диода состоит в том, что при прямом напряжении одновременнопроисходит инжекция дырок из p-области и электронов из n-области в i-область. При этом егопрямое сопротивление резко падает. При обратном напряжении происходитэкстракция носителей из i-области в соседние области.Уменьшение концентрации приводит к дополнительному возрастанию сопротивления i области по сравнению с равновесным состоянием. Поэтому для p-i-nдиода характерно очень большое отношение прямого и обратного сопротивлений,что при использовании их в переключательных режимах.
В качествевысокочастотных универсальных используются структуры с Шоттки и Мотта. В этихприборах процессы прямой проводимости определяются только основными носителямизаряда. Таким образом, у рассматриваемых диодов отсутствует диффузионнаяемкость, связанная с накоплением и рассасыванием носителей заряда в базе, чтои определяет их хорошие высокочастотные свойства.
Отличиебарьера Мотта от барьера Шоттки состоит в том, что тонкий i-слойсоздан между металлом М и сильно легированным полупроводником n+, так что получается структура М-i-n. В высокоомном i-слое падает все приложенное к диоду напряжение, поэтомутолщина обедненного слоя в n+-области оченьмала и не зависит от напряжения. И поэтому барьерная емкость практически независит от напряжения и сопротивления базы.
Наибольшую рабочую частоту имеютдиоды с барьером Мотта и Шоттки, которые в отличие от p-n-перехода почти не накапливают неосновных
носителей заряда в базе диода припрохождении прямого тока и поэтому имеют малое время восстановления tВОСТ (около 100 пс).
Разновидностьюимпульсных диодов являются диоды с накоплением заряда (ДНЗ) или диоды с резкимвосстановлением обратного тока (сопротивления). Импульс обратного тока в этихдиодах имеет почти прямоугольную форму (рисунок 4.2). При этом значение t1 может быть значительным, но t2должно быть чрезвычайно малым для использования ДНЗ в быстродействующихимпульсных устройствах.
Получение малой длительности t2 связано с созданием внутреннего поля в базеоколо обедненного слоя p-n-переходапутем неравномерного распределения примеси. Это поле является тормозящим дляносителей, пришедших через обедненный слой при прямом напряжении, и поэтомупрепятствует уходу инжектированных носителей от границы обедненного слоя,заставляя их компактнее концентрироваться зи границы. При подаче на диодобратного напряжения (как и в обычном диоде) происходит рассасываниенакопленного в базе заряда, но при этом внутреннее электрическое поле уже будетспособствовать дрейфу неосновных носителей к обедненному слою перехода. Вмомент t1, когда концентрация избыточныхносителей на границах перехода спадает до нуля, оставшийся избыточный заряднеосновных носителей в базе становится очень малым, а, следовательно,оказывается малым и время t2 спаданияобратного тока до значения I0.
/>
Рисунок 2.3 Временныедиаграммы тока через импульсный диод.
2.5Варикапы
Варикапомназывается полупроводниковый диод, используемый в качестве электрически управляемойемкости с достаточно высокой добротностью в диапазоне рабочих частот. В немиспользуется свойство p-n-переходаизменять барьерную емкость под действием внешнего напряжения (рисунок 2.4).
Основныепараметры варикапа: номинальная емкость СН при заданном номинальнымнапряжением UН (обычно 4 В ), максимальноеобратное напря- жение Uобр max и добротность Q.
Для увеличениядобротности варикапа используют барьер Шоттки; эти варикапы имеют малоесопротивление потерь, так как в качестве одного из слоев диода используетсяметалл.
/>
Рисунок 2.4 Зависимость емкостиварикапа от напряжения.
Основноеприменение варикапов — электрическая перестройка частоты колебательныхконтуров. В настоящее время существует несколько разновидностей варикапов,применяемых в различных устройствах непрерывного действия. Это параметрическиедиоды, предназначенные для усиления и генерации СВЧ-сигналов, и умножительныедиоды, предназначенные для умножения частоты в широком диапазоне частот. Иногдав умножительных диодах используется и диффузионная емкость.
3 БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
3.1 Принципдействия биполярного транзистора. Режимы работы.
3.1.1 Общиесведения
Биполярнымтранзистором (БТ) называется трехэлектродный полупроводниковый прибор сдвумя взаимодействующими p-nпереходами, предназначенный для усиления электрических колебаний по току,напряжению или мощности. Слово “биполярный” означает, что физические процессыв БТ определяются движением носителей заряда обоих знаков (электронов и дырок).Взаимодействие переходов обеспечивается тем, что они располагаются достаточноблизко — на расстоянии, меньшем диффузионной длины. Два p-n-перехода образуются в результате чередования областей сразным типом электропроводности. В зависимости от порядка чередованияразличают БТ типа
n-p-n (или со структурой n-p-n) и типаp-n-p(или со структурой p-n-p), условные изображения которых показаны на рисунке 3.1.
/>а) б) Рисунок 3.1 Структуры БТ.
Структурареального транзистора типа n-p-n изображена на рисунке 3.2. В этой структуре существуют дваперехода с неодинаковой площадью: площадь левого перехода n1+-p меньше, чем у перехода n2-p. Кроме того, убольшинства БТ одна из крайних областей (n1с меньшей площадью) сечения легирована гораздо сильнее, чем другая крайняяобласть (n2).
/>
Рисунок 3.2 Структура реального БТ типа n-p-n.
Сильнолегированная область обозначена верхним индексом “+” (n+).Поэтому БТ является асимметричным прибором. Асимметрия отражается и вназваниях крайних областей: сильнолегированная область с меньшей площадью (n1+) называется эмиттером, аобласть n2 — коллектором.Соответственно область (p) называетсябазовой(или базой). Правая область n+ служитдля переход n1+-р называют эмиттерным,а n2-p коллекторным. Средняя снижения сопротивленияколлектора. Контакты с областями БТ обозначены на рисунках 3.1 и 3.2 буквами:Э — эмиттер; Б — база; К- коллектор.
Основныесвойства БТ определяются процессами в базовой области, которая обеспечиваетвзаимодействие эмиттерного и коллекторного переходов. Поэтому ширина базовойобласти должна быть малой (обычно меньше 1 мкм). Если распределение примеси вбазе от эмиттера к коллектору однородное (равномерное), то в ней отсутствуетэлектрическое поле и носители совершают в базе только диффузионное движение. Вслучае неравномерного распределения примеси (неоднородная база) в базесуществует “внутреннее” электрическое поле, вызывающее появление дрейфовогодвижения носителей: результирующее движение определяется как диффузией, так идрейфом. БТ с однородной базой называютбездрейфовыми, а с неоднороднойбазой — дрейфовыми.
Биполярныйтранзистор, являющийся трехполюсным прибором, можно использовать в трех схемахвключения: с общей базой (ОБ) (рисунок 3.3, а), общим эмиттером (ОЭ) (рисунок3.3, б), и общим коллектором (ОК) (рисунок 3.3, в). Стрелки на условныхизображениях БТ указывают (как и на рисунке 3.1) направление прямого токаэмиттерного перехода. В обозначениях напряжений вторая буква индекса обозначаетобщий электрод для двух источников питания.
В общемслучае возможно четыре варианта полярностей напряжения переходов, определяющихчетыре режима работы транзистора. Они получили названия: нормальный активныйрежим, инверсный активный режим, режим насыщения (или режим двухстороннейинжекции) и режим отсечки.
/>а) б) в) Рисунок 3.3 Схемы включения БТ.
В нормальномактивном режиме (НАР) на эмиттерном переходе действует прямое напряжение(напряжение эмиттер — база UЭБ), а на коллекторном переходе — обратное (напряжение коллектор — база UКБ). Этому режимусоответствуют полярности источников питания на рисунке 3.4 и направления токовдля p-n-pтранзистора. В случае n-p-n транзистора полярности напряжения и направления токов изменяютсяна противоположные.
/>
Рисунок3.4 Физические процессы в БТ.
Этот режимработы (НАР) является основным и определяет назначение и название элементовтранзистора. Эмиттерный переход осуществляет инжекцию носителей в узкую базовуюобласть, которая обеспечивает практически без потерь перемещение инжектированныхносителей до коллекторного перехода. Коллекторный переход не создаетпотенциального барьера для подошедших носителей, ставших неосновныминосителями заряда в базовой области, а, наоборот, ускоряет их и поэтомупереводит эти носители в коллекторную область. “Собирательная” способностьэтого перехода и обусловила название “коллектор”. Коллектор и эмиттер могутпоменяться ролями, если на коллекторный переход подать прямое напряжение UКБ,а на эмиттерный -обратное UЭБ. Такой режим работы называетсяинверсным активным режимом (ИАР). В этом случае транзистор “работает” вобратном направлении: из коллектора идет инжекция дырок, которые проходятчерез базу и собираются эмиттерным переходом, но при этом его параметрыотличаются от первоначальных.
Режим работы,когда напряжения на эмиттерном и коллекторном переходах являются прямымиодновременно, называют режимом двухсторонней инжекции (РДИ) или менее удачнорежимом насыщения (РН). В этом случае и эмиттер, и коллектор инжектируютносители заряда в базу навстречу друг другу и одновременно каждый из переходовсобирает носители, приходящие к нему от другого перехода.
Наконец,режим, когда на обоих переходах одновременно действуют обратные напряжения,называют режимом отсечки (РО), так как в этом случае через переходы протекаютмалые обратные токи.
Следуетподчеркнуть, что классификация режимов производится по комбинации напряженийпереходов, В схеме включения с общей базой (ОБ) они равны напряжениям источниковпитания UЭБ и UКБ. В схеме включения с общим эмиттером (ОЭ) напряжение на эмиттерном переходеопределяется напряжением первого источника (UЭБ = -UБЭ),а напряжение коллекторного перехода зависит от напряжений обоих источников ипо общему правилу определения разности потенциалов UКБ = UКЭ+ UЭБ. Так как UЭБ = -UБЭ, тoUКБ = UКЭ — UБЭ; при этом напряжение источниковпитания надо брать со своим знаком: положительным, если к электроду присоединенположительный полюс источника, и отрицательным — в другом случае. В схемевключения с общим коллектором (ОК) напряжение на коллекторном переходеопределяется одним источником: UКБ = -UБК. Напряжение наэмиттерном переходе зависит от обоих источников: UЭБ = UЭК+ UКБ = UЭК — UБК, при этом правило знаковпрежнее.
3.1.2Физические процессы в бездрейфовом биполярном
транзисторепри работе в активном режиме.
Основныефизические процессы в идеализированном БТ удобно рассматривать на примере схемыс общей базой (рисунок 3.4), так как напряжения на переходах совпадают снапряжениями источников питания. Выбор p-n-p транзистора связан с тем, чтонаправление движения инжектируемых из эмиттера носителей (дырок) совпадает снаправлением тока.
В нормальномактивном режиме (НАР) на эмиттерном переходе действует прямое напряжение UЭБ. Поэтому прямой ток перехода
/> , (3.1)
где Iэ р, Iэ n — инжекционные токи дырок (из эмиттера в базу) и электронов (из базы вэмиттер), а Iэрек — составляющаятока, вызванная рекомбинацией в переходе тех дырок и электронов, энергиякоторых недостаточна для преодоления потенциального барьера. Относительныйвклад этой составляющей в ток перехода Iэ в(3.1) тем заметнее, чем меньше инжекционные составляющие Iэр и Iэn,определяющие прямой ток в случае идеализированного р-nперехода. Если вклад Iэ рек незначителен, товместо (3.1) можно записать
/>. (3.2)
Полезным всумме токов выражения (3.1) является только ток Iэ р, так как онбудет участвовать в создании тока коллекторного перехода. “Вредные”составляющие тока эмиттера Iэ n и Iэрек протекают через вывод базы и являются составляющими тока базы, а неколлектора. Поэтому вредные компоненты Iэ n, Iэрек должны быть уменьшены.
Эффективностьработы эмиттерного перехода учитывается коэффициентом инжекции эмиттера
/>, (3.3)
который показывает, какую долю вполном токе эмиттера составляет полезный компонент. В случае пренебрежениятоком Iэ рек
/>. (3.4)
Коэффициентинжекции gЭ «тем выше(ближе к единице), чем меньше отношение Iэ n/ Iэ р.Величина Iэ n/ Iэ р > NДБ).Это условие обычно и выполняется в транзисторах.
Какова жесудьба дырок, инжектированных в базу из эмиттера, определяющих полезный ток IЭр? Очевидно, что инжектированные дырки повышаютконцентрацию дырок в базе около границы с эмиттерным переходом, т.е. вызываютпоявление градиента концентрации дырок — неосновных носителей базы. Этотградиент обусловливает диффузионное движение дырок через базу к коллекторномупереходу. Очевидно, что это движение должно сопровождаться рекомбинацией частипотока дырок. Потерю дырок в базе можно учесть введением тока рекомбинациидырок IБ рек, так что ток подходящих кколлекторному переходу дырок
/>. (3.5)
Относительныепотери на рекомбинацию в базе учитывают коэффициентом переноса:
/>. (3.6)
Коэффициент переноса показывает,какая часть потока дырок, инжектированных из эмиттера в базу, подходит кколлекторному переходу. Значение cБтем ближе к единице, чем меньшее число инжектированных дырок рекомбинирует сэлектронами — основными носителями базовой области. Ток IБрек одновременно характеризует одинаковую потерю количества дырок иэлектронов. Так как убыль электронов в базе вследствие рекомбинации в концеконцов покрывается за счет прихода электронов через вывод базы из внешней цепи,то ток IБрек следуетрассматривать как составляющую тока базы наряду с инжекционной составляющей IЭ n.
Чтобыуменьшить потери на рекомбинацию, т.е. увеличить cБ, необходимо уменьшитьконцентрацию электронов в базе и ширину базовой области. Первое достигаетсяснижением концентрации доноров Nд Б. Этосовпадает с требованием NАЭ/NДБ,необходимым для увеличения коэффициента инжекции. Потери на рекомбинацию будуттем меньше, чем меньше отношение ширины базы WБи диффузионной длины дырок в базовой области LpБ. Доказано, что имеется приближенное соотношение
/>. (3.7)
Например, при WБ/LpБ= 0,1 cБ = 0,995,что очень мало отличается от предельного значения, равного единице.
Если приобратном напряжении в коллекторном переходе нет лавинного размноженияпроходящих через него носителей, то ток за коллекторным переходом с учетом(3.5)
/> (3.8)
С учетом (3.6)и (3.3) получим
/>, (3.9)
где
/> /> . (3.10)
Это отношениедырочной составляющей коллекторного тока к полному току эмиттера называетстатическим коэффициентом передачи тока эмиттера.
Ток коллектораимеет еще составляющую IКБО, котораяпротекает в цепи коллектор — база при IЭ = 0(холостой ход, “обрыв” цепи эмиттера), и не зависит от тока эмиттера. Этообратный ток перехода, создаваемый неосновными носителями областей базы иколлектора, как в обычном p-nпереходе (диоде).
Таким образом,полный ток коллектора с учетом (3.8) и (3.10)
/>. (3.11)
Из (3.11)получим обычно используемое выражение для статического коэффициента передачитока:
/>, (3.12)
числитель которого (IК — IКБО)представляет собой управляемую (зависимую от тока эмиттера) часть токаколлектора, IКр. Обычно рабочие токиколлектора IК значительно больше IКБО, поэтому
/>. (3.13)
С помощьюрисунка 3.4 можно представить ток базы через компоненты:
/>. (3.14)
По первомузакону Кирхгофа для общей точки
/>. (3.15)
Как следует изпредыдущего рассмотрения, IК и IБ принципиально меньше тока IЭ;при этом наименьшим является ток базы
/>. (3.16)
Используя(3.16) и (3.11), получаем связь тока базы с током эмиттера
/>. (3.17)
Если в цепиэмиттера нет тока (IЭ = 0, холостой ход),то IБ = -IКБО,т. е. ток базы отрицателен и по величине равен обратному току коллекторногоперехода. При значении I*Э = IКБО /(1-a)ток IБ = 0, а при дальнейшем увеличении IЭ (IЭ>I*Э) ток базы оказываетсяположительным.
Подобно (3.11)можно установить связь IК с IБ. Используя (3.11) и (3.15), получаем
/>, (3.18)
где
/> (3.19)
— статический коэффициентпередачи тока базы. Так как значение aобычно близко к единице, то b можетбыть очень большим (b>>1).Например, при a = 0,99 b = 99. Из (3.18) можно получить соотношение
/>. (3.20)
Очевидно, чтокоэффициент b есть отношениеуправляемой (изменяемой) части коллекторного тока (IК — IКБО) к управляемой части базового тока (IБ + IКБО).
Всесоставляющие последнего выражения зависят от IЭи обращаются в нуль при IЭ = 0. Введяобозначение
/>, (3.21)
можно вместо (3.18) записать
/>. (3.22)
Отсюдаочевиден смысл введенного обозначения IКЭО:это значение тока коллектора при нулевом токе базы (IБ= 0) или при “обрыве” базы. При IБ = 0
IК= IЭ, поэтому ток IКЭОпроходит через все области транзистора и является “сквозным” током, что иотражается индексами “К” и “Э” (индекс “О” указывает на условие IБ = 0).
3.2Статические характеристики биполярных транзисторов
Обычноанализируют входные и выходные характеристики БТ в схемах с общей базой и общимэмиттером. Для определенности и преемственности изложения будем рассматривать p-n-p-транзистор.
3.2.1 Схемас общей базой
Семействовходных характеристик схемы с ОБ представляет собой зависимость IЭ = f(UЭБ)при фиксированных значениях параметра UКБ — напряжения на коллекторном переходе (рисунок 3.5, а).
/>а) б) Рисунок 3.5 Входные (а) и выходные (б) характеристики БТ в схеме включения с ОБ
При UКБ = 0 характеристика подобна ВАХ p-n-перехода. С ростом обратногонапряжения UКБ (UКБ
Семействовыходных характеристик схемы с ОБ представляет собой зависимости IК = f(UКБ) призаданных значениях параметра IЭ (рисунок3.5, б).
Выходнаяхарактеристика p-n-p-транзистора при IЭ = 0 иобратном напряжении |UКБ
При IЭ > 0 основная часть инжектированных в базуносителей (дырок в p-n-p транзисторе) доходит до границы коллекторного перехода исоздает коллекторный ток при UКБ = 0 в результате ускоряющегодействия контактной разности потенциалов. Ток можно уменьшить до нуля путемподачи на коллекторный переход прямого напряжения определенной величины. Этотслучай соответствует режиму насыщения, когда существуют встречные потокиинжектированных дырок из эмиттера в базу и из коллектора в базу. Результирующийток станет равен нулю, когда оба тока одинаковы по величине (например, точкаА' на рисунок 3.5, б). Чем больше заданный ток IЭ,тем большее прямое напряжение UКБ требуется для получения IК = 0.
Область впервом квадранте на рис. 3.5, б, где UКБ 0 (что означает прямоенапряжение UЭБ) соответствует нормальномуактивному режиму (НАР). Значение коллекторного тока в НАР определяется формулой(3.11) IК = aIЭ + IКБО. Выходные характеристикисмещаются вверх при увеличении параметра IЭ.В идеализированном транзисторе не учитывается эффект Эрли, поэтомуинтегральный коэффициент передачи тока aможно считать постоянным, не зависящим от значения |UКБ|.Следовательно, в идеализированном БТ выходные характеристики оказываютсягоризонтальными (IК = const).Реально же эффект Эрли при росте |UКБ| приводит к уменьшению потерьна рекомбинацию и росту a. Так какзначение a близко к единице, тоотносительное увеличение а очень мало и может быть обнаружено толькоизмерениями. Поэтому отклонение выходных характеристик от горизонтальных линийвверх “на глаз” не заметно (на рисунке 3.5, б не соблюден масштаб).
3.2.2 Схемас общим эмиттером
Семействовходных характеристик схемы с ОЭ представляет собой зависимости IБ = f(UБЭ),причем параметром является напряжение UКЭ(рисунок 3.6, а). Для p-n-p транзистора отрицательное напряжение UБЭ(UБЭ
/>а) б) Рисунок 3.6 Рисунок 3.5 Входные (а) и выходные (б) характеристики БТ в схеме включения с ОЭ
прямое включение эмиттерногоперехода, так как UЭБ = -UБЭ> 0. Если при этом UКЭ = 0 (потенциалыколлектора и эмиттера одинаковы), то и коллекторный переход будет включен впрямом направлении: UКБ = UКЭ+ UЭБ = UЭБ> 0. Поэтому входная характеристика при UКЭ= 0 будет соответствовать режиму насыщения (РН), а ток базы равным суммебазовых токов из-за одновременной инжекции дырок из эмиттера и коллектора. Этотток, естественно, увеличивается с ростом прямого напряжения UЭБ,так как оно приводит к усилению инжекции в обоих переходах (UКБ= UЭБ) и соответствующему возрастанию потерьна рекомбинацию, определяющих базовый ток.
Втораяхарактеристика на рисунке 3.6, а (UКЭ á0) относится к нормальному активномурежиму, для получения которого напряжение UКЭдолжно быть в p-n-p транзисторе отрицательным и по модулю превышать напряжениеUЭБ. В этом случае (UКБ= UКЭ + UЭБ = UКЭ — UБЭ IКБОи IБ меняет направление и становится положительным (IБ> 0) и сильно зависящим от напряжения перехода.
Влияние UКЭ на IБ в НАР можно объяснить тем,что рост |UКЭ| означает рост |UКБ| и, следовательно,уменьшение ширины базовой области (эффект Эрли). Последнее будетсопровождаться снижением потерь на рекомбинацию, т.е. уменьшением тока базы(смещение характеристики незначительно вниз).
Семействовыходных характеристик схемы с ОЭ представляет собой зависимости IК = f(UКЭ)при заданном параметре IБ (рисунок 3.6, б).
Крутыеначальные участки характеристик относятся к режиму насыщения, а участки с малымнаклоном — к нормальному активному режиму. Переход от первого режима ковторому, как уже отмечалось, происходит при значениях |UКЭ|,превышающих |UБЭ|. На характеристиках вкачестве параметра берется не напряжение UБЭ,а входной ток IБ. Поэтому о включенииэмиттерного перехода приходится судить по значению тока IБ,который связан с входной характеристикой на рисунке 3.6, а. Для увеличения IБ необходимо увеличивать |UБЭ|,следовательно, и граница между режимом насыщения и нормальным активным режимомдолжна сдвигаться в сторону больших значений.
Если параметр IБ = 0 (“обрыв” базы), то в соответствии с (3.22) IК = IКЭО = (b + 1 ) IКБО.В схеме с ОЭ можно получить (как и в схеме с ОБ) I = IКБО, если задать отрицательный ток IБ = -IКБО.Выходная характеристика с параметром IБ = -IКБО может быть принята за границу между НАР ирежимом отсечки (РО). Однако часто за эту границу условно принимаютхарактеристику с параметром IБ = 0.
Наклонвыходных характеристик в нормальном активном режиме в схеме с общим эмиттеромво много раз больше, чем в схеме с общей базой (h22Э» bh22Б) Объясняется это различным проявлениемэффекта Эрли. В схеме с общим эмиттером увеличение UКЭ, аследовательно и UКБ сопровождаетсяуменьшением тока базы, а он по определению выходной характеристики должен бытьнеизменным. Для восстановления тока базы приходится регулировкой напряжения UБЭувеличивать ток эмиттера, а это вызывает прирост тока коллектора DIК, т.е. увеличение выходнойпроводимости (в схеме с ОБ ток IЭ приснятии выходной характеристики поддерживается неизменным).
3.2.3 Влияние температуры настатические характеристики БТ
Влияниетемпературы на положение входной характеристики схемы с ОБ при поддержаниинеизменным ее параметра аналогично ее влиянию на ВАХ полупроводникового диода.В нормальном активном режиме ток эмиттерного перехода можно представитьформулой
/>.
С ростомтемпературы тепловой ток IЭО растет быстрее,чем убывает экспонента из-за увеличения jТ= kT/q. В результатепротивоположного влияния двух факторов входные характеристики схемы с ОБсмещаются влево при выбранном токе IЭ навеличину DU » (1...2)мВ/°С (рисунок 3.7, а).
Начало входнойхарактеристики в схеме с ОЭ определяется тепловым током коллекторного переходаIКБО который сильно зависит от температуры, так что началохарактеристики при увеличении температуры опускается (рисунок 3.7, б).
/>а) б) Рисунок 3.7 Зависимость входных характеристик от температуры для схем ОБ (а) и ОЭ (б).
Влияниетемпературы на выходные характеристики схем с ОБ и ОЭ в НАР удобноанализировать по формулам (3.11) и (3.22):
/> и />.
Снятиевыходных характеристик при различных температурах должно проводиться приподдержании постоянства параметров (IЭ = const в схеме с ОБ и IБ = const в схеме с ОЭ). Поэтому в схеме с ОБ при IЭ = const рост IК будет определятьсятолько увеличением IКБО (рисунок 3.8, а).
/>а) б) Рисунок 3.8 Зависимость выходных характеристик БТ от температуры для схем включения с ОБ (а) и ОЭ (б).
Однако обычноIКБО значительно меньше aIЭ, изменение IК составляет долипроцента и его можно не учитывать.
В схеме с ОЭположение иное. Здесь параметром является IБи его надо поддерживать неизменным при изменении температуры. Будем считать впервом приближении, что коэффициент передачи bне зависит от температуры. Постоянство bIБ означает, что температурная зависимость IКбудет определяться слагаемым (b + 1)IКБО.Ток IКБО (как тепловой ток перехода) примерно удваивается приувеличении температуры на 10°С, и при b>> 1 прирост тока (b + 1)IКБОможет оказаться сравнимым с исходным значением коллекторного тока и дажепревысить его.
На рисунке3.8, б показано большое смещение выходных характеристик вверх. Сильное влияниетемпературы на выходные характеристики в схеме с ОЭ может привести к потереработоспособности конкретных устройств, если не принять схемотехнические мерыдля стабилизации тока или термостатирование.
3.3Дифференциальные параметры биполярного транзистора
Статическиехарактеристики и их семейства наглядно связывают постоянные токи электродов спостоянными напряжениями на них. Однако часто возникает задача установитьколичественные связи между небольшими изменениями (дифференциалами) этихвеличин от их исходных значений. Эти связи характеризуют коэффициентамипропорциональности -дифференциальными параметрами.
Рассмотримпроцедуру введения дифференциальных параметров БТ на примере наиболеераспространенных h-параметров, приводимых в справочниках по транзисторам. Длявведения этой системы параметров в качестве независимых переменных приописании статического режима берут входной ток IВХ (IЭили IБ) и выходное напряжение UВЫХ (UKБ или (UКЭ):
U1= f (I1,U2) (3.23)
I2= f (I1,U2)
В этом случаеполные дифференциалы
/> (3.24)
/>
Частныепроизводные в выражениях (3.24) и являются дифференциальными h-napaметрами, т.е.
dU1=h11d I1 +h12 dU2 (3.25)
dI2=h21 dI1 + h22 dU2
(h11-входное сопротивление, h12 -коэффициентобратной передачи, h21 -коэффициент передачивходного тока и h22 -выходная проводимость).Названия и обозначения этих параметров взяты из теории четырехполюсников дляпеременного тока.
Приращениястатических величин в нашем случае имитируют переменные токи и напряжения.
Для схемы собщей базой
dUЭБ=h11Б d IЭ +h12Б dUКБ (3.26)
dIК=h21Б dIЭ + h22Б dUКБ
Эти уравненияустанавливают и способ нахождения по статическим характеристикам, и методизмерения h-параметров. Полагая dUКБ = 0, т.е. UКБ = const, можно найти h11Б и h21Б, асчитая dIЭ = 0, т. е. IЭ = const. определить h12Б и h22Б.
Аналогично длясхемы с общим эмиттером можно переписать (3.26) в виде
dUБЭ=h11Э d IБ+h12Э dUКЭ (3.27)
dIК=h21Э dIБ + h22Э dUКЭ
Связьh-параметров со статическими характеристиками схем с ОБ и ОЭ и их определениепо ним рассмотрены в [4].
3.4 Линейная (малосигнальная)модель биполярного транзистора
В качествемалосигнальных моделей могут быть использованы эквивалентные схемы сдифференциальными h-, у- и z-параметрами, которые имеютформальный характер и в которых отсутствуют непосредственная связь сфизической структурой транзистора. Например, эквивалентная схема для системыН-параметров приведена на рисунке 3.9.
/>
Рисунок3.9 Эквивалентна схема БТ в системе Н-параметров.
Широкоераспространение нашли эквивалентные схемы с так называемыми физическимипараметрами, которые опираются на нелинейную динамическую модель Эберса — Молла, т.е. тесно связаны с физической структурой биполярного транзистора.
Малосигнальнуюсхему БТ легко получить из нелинейной динамической модели заменой эмиттерногои коллекторного диодов их дифференциальными сопротивлениями, устанавливающимисвязь между малыми приращениями напряжения и тока. Кроме того, в усилительныхсхемах используется либо нормальный активный, либо инверсный активный режим, арежим насыщения недопустим. Поэтому при переходе к малосигнальной схеме можноограничиться рассмотрением наиболее распространенного нормального активногорежима, так как результаты легко перенести и на инверсный активный режим. Вэтом случае можно исключить генератор тока и малосигнальную модель БТ для схемывключения с ОБ можно изобразить, как на рисунке 3.10.
/>
Рисунок3.10 Эквивалентная схема БТ при включении его с ОБ.
Поясним смыслэлементов модели. Резистор RЭ представляетдифференциальное сопротивление эмиттерного перехода. В первом приближении егоможно определить по формуле для идеализированного р-nперехода:
RЭ=dU/dI»jT/IЭ, (3.28)
где IЭ-постоянная составляющая тока эмиттера. Так как при комнатной температуре jт = 0,026 В, то при IЭ= 1 мА RЭ = 26 Ом.
Величина RК называется дифференциальным сопротивлениемколлекторного перехода. Оно обусловлено эффектом Эрли и может быть определенопо наклону выходной характеристики:
/>. (3.29)
Величина RК обратно пропорциональна значению параметра h22Б. Дифференциальное сопротивление коллектораможет составлять сотни килоом и мегаомы, тем не менее его следует учитывать.
Реактивныеэлементы модели (Сэ, Ск) оказались теперь присоединенными параллельнорезисторам RЭ и RК.Сопротивление базы r½ББ, которое можетпревышать сотни ом, всегда остается в модели.
r½ББ=h12/h22 . (3.30)
Приведеннаяэквивалентная малосигнальная модель БТ формально относится к схеме включения сОБ. Однако она применима и для схемы с ОЭ. Для этого достаточно поменять местамиплечи этой схемы, называемой Т-образной схемой с физическими параметрами.Электрод “Б” следует изобразить входным, а “Э” — общим, как показано на рисунке3.11.
/>
Рисунок 3.11Эквивалентная схема БТ при включении его с ОЭ.
Значения всех элементов остаютсяпрежними. Однако при таком изображении появляется некоторое неудобство,связанное с тем, что зависимый генератор тока в коллекторной цепи выражается нечерез входной ток (ток базы). Этот недостаток легко устранить преобразованиемсхемы к виду, изображенному на рисунке 3.11. Чтобы обе схемы были равноценнымичетырехполюсниками, они должны иметь одинаковые параметры в режимах холостогохода и короткого замыкания. Это требует перехода от тока H21БIЭ к току Н21ЭIБи замены RК и CКна RК* и CК*соответственно. Связи этих величин определяются формулами
RК*=Н21БRК/ Н21Э=RК/( Н21Э+1) , ( 3.31)
СК*= СК(Н21Э+1) . ( 3.32 )
Легкоубедиться, что RК* характеризуетнаклон выходной характеристики (эффект Эрли) в схеме с ОЭ и связан с выходнойпроводимостью в этой схеме соотношением (5.43). Во сколько раз уменьшается RК* по сравнению с RК,во столько же раз возрастает емкость СK*по сравнению с СK, т.е. RKCK=RK*CK*.]
3.5Частотные свойства биполярного транзистора
Частотныесвойства определяют диапазон частот синусоидального сигнала, в пределахкоторого прибор может выполнять характерную для него функцию преобразованиясигнала. Принято частотные свойства приборов характеризовать зависимостьювеличин его параметров от частоты. Для биполярных транзисторов используетсязависимость от частоты коэффициента передачи входного тока в схемах ОБ и ОЭ Н21Би Н21Э. Обычно рассматривается нормальный активный режим при малыхамплитудах сигнала в схемах включения с ОБ и ОЭ.
В динамическомрежиме вместо приращения токов необходимо брать комплексные амплитуды, поэтомуи коэффициенты передачи заменяются комплексными (частотно зависимыми)величинами: Н21Б и Н21Э.
Величины Н21Би Н21Э могут быть найдены двумя способами:
-решениемдифференциальных уравнений физических процессов и определением из них токов;
-анализомТ-образной эквивалентной схемы по законам теории электрических цепей.
Во второмслучае Н21Б и Н21Э будут выражены черезвеличины электрических элементов схемы. Мы проведем анализ частотных свойствкоэффициентов передачи, используя Т-образную линейную модель (эквивалентнуюсхему) n-р-n транзистора (рисунки 3.10 и 3.11).
На частотныесвойства БТ влияют СЭ, СК и r½ББ, атакже время пролета носителей через базу tБ.
Нет надобностирассматривать влияние на частотные свойства транзистора каждого элемента вотдельности. Совместно все эти факторы влияют на коэффициент передачи токаэмиттера Н21Б, который становится комплексным, следующим образом:
/>
/> , (3.33 )
где Н21Б0 — коэффициент передачи тока эмиттера нанизкой частоте, f — текущая частота, fН21Б — предельная частота.
Модуль коэффициента передачи тока эмиттера равен:
/> ( 3.34 ).
Не трудно заметить, что модуль коэффициента передачи ½Н21Б½на предельной частоте fН21Б снижается в /> раз.
Сдвиг по фазе между входным и выходным токамиопределяется формулой
/>. ( 3.35 )
Для схемы с ОЭ известно соотношение
/>/>(3.36 ).
Подставляя (3.33) в (3.36) получим
/> (3.37),
где />.
Модуль коэффициента передачи токабазы будет равен
/> (3.38).
Как видно, частотные свойства БТ в схеме ОЭзначительно уступают транзистору, включенному по схеме с ОБ.
Граничная частота fГР — это такая частота, на которой модулькоэффициента передачи ½Н21Э½=1. Из (3.38) получим, что fГР»fН21Э×Н21Э0.
Транзистор можно использовать вкачестве генератора или усилителя только в том случае, если его коэффициентусиления по мощности КP>1. Поэтому обобщающим частотнымпараметром является максимальная частота генерирования или максимальнаячастота усиления по мощности, на которой коэффициент усиления по мощностиравен единице. Связь этой частоты с высокочастотными параметрами определяетсявыражением
/> , ( 3.39 ).
где fН21Б-предельнаячастота в мегагерцах; r1ББ-объемноесопротивление в омах; CК-емкостьколлекторного перехода в пикофарадах; fМАКС-вмегагерцах.
3.6 Способыулучшения частотных свойств биполярных транзисторов
Рассмотренное выше позволяетсделать следующие выводы. Для улучшения частотных свойств (повышение предельнойчастоты ) рекомендуется следующее.
1. Уменьшатьвремя пролета инжектированных носителей в базовой области, т.е.
а) уменьшатьширину базовой области WБ;
б) создавать n-р-n транзисторы, так как подвижность электронов выше, чем удырок, примерно в 2 раза;
в)использовать германиевые БТ, так как в германии подвижность носителей выше.Еще большие возможности открывает использование арсенида галлия.
2. Создаватьускоряющее поле в базовой области для инжектированных из эмиттера носителей.Последнее возникает при неравномерном распределении примесей в базе понаправлению от эмиттера к коллектору (рисунок 3.12). Концентрацию околоэмиттера делают примерно в 100 раз больше, чем около коллектора.
/>
Рисунок3.12 К образованию электрического поля в базе дрейфого БТ.
Появление поляобъясняется просто. Так как концентрация основных носителей в любой точке базы(дырок n-р-n транзистора) приблизительно равна концентрации примесей в этойточке, то распределение примесей Na(х)одновременнобудет и распределением дырок p(х). Под влияниемградиента концентрации дырок будет происходить их диффузионное движение кколлектору, приводящее к нарушению условия электрической нейтральности: околоэмиттера будет избыток отрицательного заряда ионов акцепторов, а околоколлектора — избыток положительного заряда дырок, которые приходят кколлекторному переходу, но не проходят через него.
Нарушениеэлектрической нейтральности приводит к появлению внутреннего электрическогополя в базовой области (минус у эмиттера, плюс у коллектора). Появляющеесяполе, в свою очередь, вызовет встречное дрейфовое движение дырок. Нарастаниеполя и дрейфового потока будет происходить до того момента, когда дрейфовый идиффузионный токи дырок уравняются. Легко видеть, что установившееся(равновесное) значение поля будет ускоряющим для электронов, которые входят врабочем режиме из эмиттера в базу и будут уменьшать их время пролета, т.е. повышатьпредельную частоту БТ.
Биполярныетранзисторы с неравномерным распределением примесей в базе, приводящим кпоявлению ускоряющего поля, называются дрейфовыми, а обычные — бездрейфовыми.Практически все современные высокочастотные и сверхвысокочастотные БТявляются дрейфовыми.
Уменьшениевремени пролета в базовой области n-р-n транзистора при
экспоненциальном законе убыванияконцентрации акцепторов от Nа(0)до Nа(WБ) учитывается коэффициентом неоднородностибазы:
h=0,5ln[NА(0)/NА(WБ)]
Поэтому [см. (5.93)] можнонаписать
/>
Для бездрейфовыхтранзисторовh=0 , а типичныезначения для дрейфовых транзисторов />.
3. Уменьшатьбарьерные емкости эмиттерного и коллекторного переходов путем уменьшениясечения областей транзистора и увеличения ширины переходов (выбором концентрациипримесей и рабочего напряжения).
4. Уменьшатьомическое сопротивление областей базы r½ББ.
5. Уменьшатьвремя пролета носителей в области коллекторного перехода.
Следуетотметить, что ряд требований несовместимы и необходимо при создании транзисторовприменять компромиссные решения.
3.7 Работатранзистора в усилительном режиме
При работе транзистора в различных радиотехнических устройствах в его входную цепьпоступают сигналы, например переменные напряжения. Под действием входногопеременного напряжения изменяются входной и выходной токи транзистора.
Для выделенияполезного сигнала в выходную цепь транзистора включают элементы нагрузки. Впростейшем случае нагрузкой может служить резистор Rк.На резисторе нагрузки за счет прохождения выходного тока выделяется, кромепостоянного, переменное напряжение. Амплитуда этого напряжения зависит отамплитуды переменной составляющей выходного тока и сопротивления резистора Rк и может быть больше входного напряжения.Процесс усиления сигнала удобно рассмотреть на примере простейших усилителей.
Простейшаясхема усилителя на транзисторе, включенном по схеме с ОЭ, показана на рисунке3.13.
Коллекторнаяцепь состоит из резистора Rк и источника Ек,а цепь базы — из источников тока IБ0 и IБm Источник IБ0 обеспечивает положение исходной рабочей точкена участке характеристик с наименьшей нелинейностью. Источник IБm — источник сигнала. В качестве выходного используетсяпеременное напряжение, выделяемое на резисторе нагрузки Rк(на коллекторе транзистора).
/>
Рисунок3.13 Схема усилителя на БТ.
Работа такогоусилителя поясняется временными диаграммами токов и напряжений, изображеннымина рис. 3..
При IБm =0 токибазы и коллектора будут определяться токами в рабочей точке (IБ0, IК 0)и напряжением на коллекторе UК0= ЕК-IК0 × Rк
/>
Рисунок3.14 Временные диаграммы усилителя.
Во времяположительного полупериода входного тока (рис. 3.14, а) прямое напряжениеэмиттерного перехода увеличивается, что вызывает рост тока коллектора (рис.3.14, б) и уменьшение напряжения UКЭ за счетувеличения падения напряжения на сопротивлении коллектора (рисунок 3.14, в).Если работа происходит на линейных участках характеристик транзистора, то формыпеременных составляющих токов базы и коллектора совпадают с формой входногонапряжения, а переменное напряжение на коллекторе, обусловленной переменнойсоставляющей коллекторного тока, оказывается сдвинутым относительно входногонапряжения на 1800. При соответствующем выборе сопротивлениянагрузки Rк амплитуда переменного напряжения на выходе такого усилителя Umвых=IКmRк может значительно превышать амплитуду входногонапряжения. В этом случае происходит усиление сигнала. Расчет параметровусиления дан в [4].
3.8ОСОБЕННОСТИ РАБОТЫ ТРАНЗИСТОРА В ИМПУЛЬСНОМ РЕЖИМЕ
3.8.1Работа транзистора в режиме усиления импульсов малой амплитуды
Еслитранзистор работает в режиме усиления импульсных сигналов малой амплитуды, тотакой режим работы в принципе не отличается от линейного усиления малыхсинусоидальных сигналов. Импульс в этом случае может быть представлен в видесуммы ряда гармонических составляющих. Зная частотные свойства транзистора,можно определить искажения формы импульсов, возникающие при усилении.
Схемаимпульсного усилителя не отличается от схемы усилителя гармонических сигналов(рисунок 3.13).
3.8.2Работа транзистора в режиме переключения
Биполярныйтранзистор широко используется в электронных устройствах в качестве ключа — функцией которого является замыкание и размыкание электрической цепи. Имеямалое сопротивление во включенном состоянии и большое — в выключенном,биполярный транзистор достаточно полно удовлетворяет требованиям, предъявляемымк ключевым элементам.
Схематранзисторного ключа показана на рисунке 3.15. Во входной цепи действуютисточник смещения ЕБЭ, создающий обратное напряжение на эмиттерномпереходе, источник управляющих импульсов прямого напряжения UВХи ограничительный резистор RБ. Обычно RБ>>Н11Э.В выходной цепи включены сопротивление нагрузки RКи источник питания ЕКЭ.
/>
Рисунок 3.15 Схема импульсного усилителя.
Когда нетимпульса на входе, транзистор находится в режиме отсечки и ток коллекторапрактически отсутствует IК»IКБ0 (точкаА на выходных характеристиках (рисунок 3.16, б). Напряжение на выходетранзистора uКЭ= ЕКЭ-IК× RК » ЕКЭ.
При подаче на вход транзистораимпульсов прямого тока
iБ=(UВХ — EБЭ)/RБ=IБ НАС,транзистор открывается, рабочая точка перемещается в точку Б (режим насыщения)и напряжение на коллекторе падает до значения uКЭ=ЕКЭ-IК НАС× RК=UКЭОСТ. При дальнейшем увеличении тока базы ток коллектора не увеличивается(рисунок 3.16, а).и напряжение на коллекторе не изменяется (рисунок 3.16, б).
/>а) б) Рисунок 3.16 Зависимость входных (а) и выходных (б) токов БТ.
3.8.3Переходные процессы при переключении транзистора
При практическомиспользовании транзистора большое значение имеет скорость переключения,обуславливающая быстродействие аппаратуры. Скорость переключения определяетсяпроцессами накопления и рассасывания неравновесного заряда в базе и коллекторетранзистора, эмиттерном и коллекторном переходах.
В эмиттерном иколлекторном переходах находятся нескомпенсированные заряды неподвижныхионизированных атомов примеси- доноров и акцепторов; неравновесный зарядотсечки в базе можно считать равным нулю.
При переходе крежиму насыщения эмиттерный переход открывается, толщина перехода и егонескомпенсированный заряд уменьшаются, происходит как бы разряд ёмкостиэмиттерного перехода. Вследсвии понижения напряжения на коллекторе, уменьшаетсяего толщина и заряд в нем, т.е. происходит разряд ёмкости коллекторногоперехода, открывается коллекторный переход и в области базы за счет инжекцииэлектронов из эмиттерного и коллекторного переходах накапливается большойнеравновесный заряд насыщения. В транзисторах, имеющих высокоомный коллекторносители заряда инжектируют и в область коллектора, где так же накапливаетсянеравновесный заряд.
Графикинапряжений и токов транзистора при переключении даны на рисунке 3.17. На базутранзистора подается прямоугольный импульс напряжения UВХ-EБЭ (рисунок 3.17, а).
График входного токапоказан на рисунке 3.17, б. Величина импульса прямого тока базы IБ ПР определяется в основном сопротивлениемограничительного резистора RБ.
После переключенияэмиттерного перехода на обратное направление ток перехода, как и в диоде, имеетпервоначально большую величину, ограниченную лишь сопротивлением RБ: IБ ОБР= EБ/ RБ, так каксопротивление эмиттерного перехода в первый момент после переключения оченьмало вследствие насыщения базы неравновесными носителями заряда (рисунок3.17, г).
При прямоугольной формеимпульса входного тока импульс выходного тока iК (рисунок3.17, в) появляется с задержкой tЗ, котораяопределяется главным образом скоростью нарастания напряжения эмиттерногоперехода, зависящей от величин ёмкости перехода и прямого тока базы, т.е.скоростью разряда эмиттерного перехода.
После того кактранзистор перейдет из режима отсечки в активный режим, коллекторный токначинает постепенно нарастать, достигая установившегося значения а время tн. Это время определяется скоростью накоплениянеравновесного заряда в базе и скоростью разряда емкости коллектора. Такимобразом, полное время включения транзистора состоит />
Рисунок 3.17Переходные процессы при переключении БТ.
из времени задержки и времени нарастания: />.
Практически оно можетиметь величину от нескольких наносекунд до нескольких микросекунд в зависимостиот параметров транзистора.
После подачи в цепь базызапирающего тока IБ ОБР=EБЭ/RБ выходной коллекторный ток прекращается несразу. На протяжении некоторого времени рассасывания tp он практически сохраняет свою величину, так как концентрация носителейзаряда в базе у коллекторного перехода еще остается выше равновесной иколлекторный переход благодаря этому оказывается открытым.
Лишь послетого как неравновесный заряд у коллекторного перехода рассосется за счет уходаэлектронов из базы и рекомбинации, ток коллектора начинает постепенно спадать,достигая время спада tС установившегося значения IKЭ0. В течении этоговремени продолжается рассасывание неравновесного заряда базы и происходитперезаряд емкости коллекторного перехода. Заметим, что эмиттерный переход приэтом может закрыться раньше или позже коллекторного в зависимости от скоростирассасывания неравновесного заряда, сосредоточенного поблизости от него.
Процесснакопления и рассасывания неравновесного заряда qБпри переключении транзистора поясняется на рисунке 3.17, г. Накоплениенеравновесного заряда в базе начинается спустя время задержки tз, и заряд за время нарастания tндостигает установившегося значения qБ=Qакт. Далее вследствие падения коллекторногонапряжения до величины UКЭ ОСТ
4 ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
4.1 Полевой транзистор с p-n переходом.
В полевых транзисторах, управление потокомосновных носителей заряда осуществляется в области полупроводника, называемойканалом, путем изменения его поперечного сечения с помощью электрическогополя. Полевой транзистор имеет следующие три электрода: исток, через который вn канал втекают основные носители; сток, через который они вытекают изканала, и затвор, предназначенный для регулирования поперечного сечения канала.В настоящее время существует множество типов полевых транзисторов, которые вряде устройств работают более эффективно, чем биполярные. Преимуществом полевыхтранзисторов является также и то, что ассортимент
полупроводниковых материалов дляих изготовления значительно шире (так как они работают только с основныминосителями заряда), благодаря чему возможно создание, например, темпера-туростойких приборов. Большое значение также имеют низкий уровень шумов ивысокое входное сопротивление этих транзисторов. На рисунке 4.1 приведена схемавключения полевого транзистора.
/> Во входнуюцепь включен источник обратного смещения UЗИ на p-n переходе междузатвором и каналом. Выходная цепь состоит из источника постоянного напряжения UСИплюсом соединенного к стоку. Исток является общей точкой схемы. Контакты истокаи стока невыпрямляющие. Канал может иметь электропроводимость, как p-типа, таки n-типа; поскольку mn>mp выгоднее применять n-канал.Затвор выполняют в виде полупроводниковой области p+-типа.
Полевойтранзистор работает следующим образом. При отсут-Рисунок 4.1 ПТ с управляющим p-n переходом.
ствии напряжения на входеосновные носители заряда — электроны под действием ускоряющего электрическогоноля в канале (E = 105Q104В/см) дрейфуют в направлении от истока к стоку, в то время как p-n переход дляних заперт. Ток IС, создаваемый этими электронами, определяется какнапряжением стока UСИ, так и сопротивлением канала. Последнеезависит от поперечного сечения канала, которое ограничивается p-n переходом(заштрихованная область). Поскольку потенциал электрического поля линейновозрастает от истока к стоку вдоль канала, толщина p-n перехода минимальнавблизи истока и максимальна вблизи стока, и канал сужается вдоль p-n переходаот стока к истоку. Таким образом, наибольшим сопротивлением канал обладает внаиболее узкой своей части.
Если врезультате подачи к затвору переменного напряжения сигнала результирующееобратное напряжение на затворе UЗИ повысятся, то толщина p-nперехода по всей его длине увеличится, а площадь сечения канала и, следовательно,ток в цепи стока уменьшаются. На рисунке 4.2, а изображена характеристика
/>а) б) Рисунок 4.2 Характеристики прямой передачи (а) и выходные (б) ПТ с управляющим p-n переходом.
прямой передачи IС=f(UЗИ). Указанный эффект будет тем сильнее, чем больше удельноесопротивление материала полупроводника, поэтому полевые транзисторы выполняютиз высокоомного материала. При больших обратных напряжениях на затворе UЗИ0сечение канала в его узкой части станет равным нулю и ток через каналпрекратится. Такой режим называется режимом отсечки. Характеристика прямойпередачи хорошо описывается формулой
/> (3.40)
Па рисунке4.2, б изображено семейство статических выходных характеристик IС=f(UСИ) при различных значениях напряжения затвора UЗИ.Каждая характеристика имеет два участка — омический (для малых UСИ)и насыщения (для больших UСИ). При UЗИ = 0 с увеличениемнапряжения UС ток IС вначале нарастает почти линейно,однако далее характеристика перестает подчиняться закону Ома; ток IСначинает расти медленно, ибо его увеличение приводит к повышению падениянапряжения в канале и потенциала вдоль канала. Вследствие этого увеличиваютсятолщина запирающего слоя и сопротивление канала, а также замедляетсявозрастание самого тока IС. При напряжении насыщения UСИ= UЗИ0 сечение канала приближается к нулю и рост IСпрекращается.
Следующаяхарактеристика, снятая при некотором обратном напряжении затвора U^ЗИ, когда запирающий слой имеет большуютолщину при тех же значениях UСИ, будет более пологой на начальномучастке и насыщение наступит раньше (при меньших значениях U^СИ=UЗИ0 -U^ЗИ).
Температурнаязависимость тока истока связана с изменением подвижности основных носителей,заряда в материале канала. Для кремниевых транзисторов крутизна S уменьшается сувеличением температуры. Кроме того, с повышением температуры увеличиваетсясобственная проводимость полупроводника, возрастает входной ток IЗчеред переход и, следовательно, уменьшается RВХ. У полевыхкремниевых транзисторов с p-n переходом при комнатной температуре ток затворапорядка 1 нА. При увеличении температуры ток удваивается на каждые 10°С.
Особенностьполевых транзисторов заключается в наличии у них термостабильной точки, т. е.точки, в которой ток стока практически постоянен при различных температурах(рисунок 4.3). Это объясняется следующим образом.
При повышениитемпературы из-за уменьшения подвижности носителе удельная проводимость каналауменьшается, а следовательно, уменьшается и ток стока. Одновременно сокращаетсяширина p-n перехода, расширяется проводящая часть канала и увеличивается ток.Первое сказывается при больших токах стока, второе при малых. Эти двапротивоположных процесса при определенном выборе рабочей точки могут взаимнокомпенсироваться. При правильном выборе ее положения основной
/>Рисунок 4.3 Зависимость характеристик прямой передачи от температуры.
причиной дрейфа тока стокаможет быть высокоомный резистор в цепи в зависимости от температуры будет изменятьсяпадение напряжения по входной цепи, которое изменит рабочий ток стока.
Основным параметрам, используемым при расчете усилительногокаскада с полевым транзистором, является статическая крутизна характеристикипрямой передачи, т. е. отношение изменения тока стока к напряжению междузатвором и истоком:
/>
Дифференциальное выходноесопротивление здесь определяется как
/>, Ом, />.
Оносоставляет, примерно десятки — сотни килоомов. Статический коэффициентусиления по напряжению m=DUСИ/DUЗИ =S'Ri .
Определениепараметров по характеристикам дано в [4].
Междуэлектродныеемкости затвор-исток СЗИ затвор-сток СЗС и сток-исток ССИ.Для маломощных транзисторов СЗИ=3 пФ, СЗС=2 пФ и ССИ=0,2пФ.
Ток затвора вовходной цепи триода IЗ —обратный ток, создаваемый неосновныминосителями через p-n переход, чрезвычайна мал (порядка 10-9 А именее). Поэтому входное сопротивление полевого транзистора RВХ=DUЗ/DIЗ очень высокое (порядка несколькихмегомов), входная же емкость мала, так как переход находится под обратнымнапряжением. Этими качествами полевой транзистор выгодно отличается отбиполярных транзисторов с двумя p-n переходами. При работе полевоготранзистора на высоких частотах основное значение имеет емкость СЗИ.Максимальная рабочая частота определяется постоянной времени входной цепиf=1/2pRCЗИ, где R — сопротивление канала, через которое заряжается емкость. Анализ показывает, чтопо частотным свойствам полевой транзистор не имеет особых преимуществ передбиполярным. Практически были осуществлены полевые транзисторы с максимальнойчастотой генерации до 30 ГГц. Но с точки зрения быстродействия полевойтранзистор превосходит биполярный, так как работает на основных носителяхзаряда при отсутствии их накопления.
В импульсномрежиме чрезвычайно полезным достоинством полевого транзистора является почтиполное отсутствие остаточного напряжения и цепи канала во включенном состоянии.Закрытый полевой транзистор оказывает сопротивление постоянному току междустоком и истоком более 108 Ом.
Полевыетранзисторы с p-n переходом целесообразно применять во входных устройствахусилителей при работе от высокоомного источника сигнала, в чувствительной потоку измерительной аппаратуре, импульсных схемах, регуляторах уровня сигнала ит. п.
4.2 Полевойтранзистор с изолированным затвором
(МДП-транзистор).
Этоттранзистор имеет структуру металл — диэлектрик — полупроводник и может бытьдвух типов: с индуцированным каналом (рисунок 4.4, а) и с встроенным каналом(рисунок 4.4, б). Если основой транзистора является кремний, то диэлектрикомможет быть слой окиси кремния, поэтому такую структуру иногда называютМОП-транзистор (металл — окисел — полупроводник).
/>а) б)
Рисунок 4.4 Структура МДП ПТ с индуцированным (а)
и встроенным (б) каналами.
Транзистор синдуцированным каналом имеет области истока n+ и стока n+,которые выведены путем металлизации через отверстие в окиси кремния наконтакты — исток и сток. На слой двуокиси окиси кремния напыляют слой алюминия,служащий затвором. Можно считать, что алюминиевый затвор и полупроводниковыйматериал p-типа образуют плоский конденсатор с окисным диэлектриком, Если наметаллическую часть затвора подать положительное напряжение, то положительныйзаряд обкладки затвора индуцирует соответствующий отрицательный заряд вполупроводниковой области канала. С возрастанием положительного напряженияэтот заряд, созданный притянутыми из глубины p-области проводника электронами,которые являются неосновными носителями, превращает поверхностны слойполупроводника p-типа в проводящий канал n-типа, соединяющий исходные n+-областиистока и стока. Поэтому уменьшается сопротивление материала между истоком истоком, что ведет к увеличению тока стока. Таким образом, благодаря электростатическойиндукции между истоком и стоком происходит инверсия типа проводимостиполупроводника. Слой полупроводника p-типа превращается в полупроводник
n-типа. До инверсии сопротивлениемежду истоком и стоком определяется сопротивлением закрытого перехода, так какдо инверсии имеет место структура n+-р-n+. После инверсииобразуется n-проводимость и структура становится n+-n-n+.Меняя напряжение на затворе, можно управлять током стока. Если взять подложкуn-типа, то можно построить МДП-транзистор с индуцированным p-каналом, которыйуправляется отрицательным напряжением на затворе.
Транзистор свстроенным каналом имеет конструкцию, подобную предыдущей. Между истоком истоком методом диффузии создают слаболегированный канал c проводимостью n--типапри проводимости подложки p-типа. Возможно другое сочетание. Канал имеетпроводимость p-типа, а подложка — проводимость n-типа. В отсутствие напряженияна затворе (рис. 2.91б) ток между истоком и стоком определяется сопротивлениемn--канала. При отрицательном напряжении на затворе концентрацияносителей заряда и канале уменьшится и в нем появляется обедненный слой.Сопротивление между истоком и стоком увеличивается и ток уменьшается. При положительномнапряжении на затворе ток стока увеличивается, потому что в каналеиндуцируется дополнительный отрицательный заряд, увеличивающий егопроводимость.
На рисунке 4.4 приведеныхарактеристики прямой передачи МДП-транзисторов с индуцированным (кривая 2) ивстроенным (кривая 1) каналами. Из рисунка
видна квадратичность передаточнойхарактеристики. Теоретически характеристика прямой передачи описываетсяследующим выражением:
/> при />. ( 3.41 )
Здесь А — постоянный коэффициент;UЗИ ПОР — напряжение, которое для транзистора с индуцированнымканалом принято называть пороговым. Инверсия типа проводимости начинается лишьпри достижении напряжения UПОР.
/>Рисунок 4.4 Характеристики прямой передачи МДП ПТ.
Выходныехарактеристики МДП-транзистора с индуциро- ванным каналом n-типа приведены нарисунке 4.5, а со встроенным каналом — на рисунке 4.5, б.
В области UCИ
/>. ( 3.42 )
Уравнение(3.42) описывает восходящие ветви выходной характеристики Входноесопротивление МДП-транзистора из-за наличия изолятора между затвором и каналомсоставляет около 1012 — 1014 Ом и уменьшается с ростомчастоты вследствие шунтирования входной емкостью транзистора. Выходноесопротивление находится в пределах десятков — сотен килоомов. Входная ивыходная емкости составляют единицы пикофарад, а проходная емкость -десятыедоли пикофарад.
/>а) б) Рисунок 4.5 Выходные характеристики ПТ с индуцированным (а) и встроенным (б) каналами.
Литература
1 Электронные, квантовые приборы и микроэлектроника. Под редакцией Федорова Н.Д. — М.: Радиои связь, 1998.-560 с.
2 Электронныеприборы. Под редакцией Шишкина Г.Г. -М.: Энергоатомиздат, 1989.-496 с.
3 БатушевВ.А. Электронные приборы. -М.: Высшая школа, 1980. -383 с.
4 Савиных В. Л. Физические основы электроники.Методические указания и контрольные задания. СибГУТИ, 2002.
ктн, доц. ВалерийЛеонидович Савиных,
Физические основыэлектроники
Учебное пособие
Редактор доц. Удальцов А.Н.
Корректор Шкитина Д.С.
Лицензия №020475, январь1998 г. Подписано в печать
Формат бумаги 62 х 84 1/16
Бумага писчая №1. Уч. изд.л. Тираж экз.
Заказ №
СибГУТИ, 630102, г.Новосибирск, ул. Кирова, 86.