МИКРОЖИДКОСТНЫЕ СИСТЕМЫМикромеханические системы уже давно вышли из стен лабораторий и их можно встретить во всех сферах человеческой жизни. Области применения микросистем охватывают вычислительную технику и телекоммуникации, биологию, медицину, химию, мониторинг окружающей среды, автомобилестроение, космические исследования, авиационные технологии и др. В настоящее время на рынке микромеханических устройств обращается по разным оценкам от 3 до 12 млрд долл. в год и в ближайшие несколько лет ожидается рост объема инвестиций в несколько раз. Лидерами на рынке являются такие компании, как Analog Devices, EG&G, Lucas NovaSensor, Honeywell, Motorola, Redwood Microsystems, Texas Instruments, Sandia National Laboratories и др. Существует несколько факторов, сдерживающих стремительный рост применения микросистемной технологии. Во-первых, это отсутствие информации у потенциального потребителя о возможностях, предоставляемых данной технологией и ее доступности, что заставляет инженеров и разработчиков выбирать иногда более дорогие и менее надежные решения. Во-вторых, это разрыв между исследовательской, конструкторской разработкой микроизделия и его внедрением и массовым производством. На решение этих проблем за рубежом тратится много усилий. Поддержка развития микросистемной технологии за рубежом осуществляется на самом высоком уровне: в США это – NSF (National Science Foundation), APRA (Advanced Project Research Agency), NASA, национальные лаборатории США; в Европе наряду с национальными программами существуют проекты ЕС – NEXUS, MUST, распространение знаний в данной области ведется через Europractice, существуют десятки более мелких проектов; в Японии поддержка осуществляется непосредственно Министерством международной торговли и индустрии. В чем же привлекательность микроустройств в целом? Рассмотрим наиболее общие преимущества микроизделий перед своими аналогами, изготовленными по обычной технологии. 1. Снижение цены конечного изделия. Цена микроизделий, как правило, существенно ниже цены макроаналогов при сохранении или улучшении основных характеристик. Цена датчика ускорения для подушки безопасности автомобиля уменьшилась более чем в три раза, с началом поставок микроустройств. 2. Повышение надежности и повторяемости характеристик для микроприборов. Микросистемные технологии изначально обладают высочайшими стандартами качества и хорошим потенциалом для массового производства. 3. Миниатюрность приборов резко расширяет зону применимости микроприборов, что в совокупности с низкой ценой и высокой надежностью позволяет осуществлять полный контроль и управление различными сложными системами. В современных автомобилях интегрировано более десятка различных микроустройств (таких как сенсоры ускорения для подушек безопасности; датчики, регистрирующие угловую скорость вращения колеса для антиблокировочной и антипробуксовочной систем, и др. В 1998 г. более 80% автомобилей в Европе были оборудованы подушками безопасности), что позволило вывести их на новый уровень безопасности и эргономики. Таким образом, использование микроустройств позволяет получить новые качества в привычных продуктах. Существуют области деятельности, где миниатюрность, а также высокая точность являются абсолютно необходимым условием для решения определенного класса задач. Примером могут служить малоразрушающая хирургия, транспланталогия и искусственные органы, оптоволоконные соединители, высокочастотные резонаторы для мобильной связи и др. Важнейшим следствием миниатюрности и совершенства конструкции микросистем является также снижение энергопотребления. 4. Мобильность микроприборов имеет решающее значение во многих областях, таких как медицина, химия, аэрокосмическая промышленность, авиастроение и др. Современные микроаналитические системы для экспресс-анализа, приборы для коррекции слуха, микродозаторы для лекарств являются прекрасными примерами значительного прогресса в этом направлении, достигнутого с помощью микросистем. Другими словами, микросистемы переводят традиционные методы диагностики и измерений в разряд оперативных. 5. Уменьшение размеров и массы прибора имеет и другой аспект: подобные механические устройства обладают меньшей инерционностью и более высокими рабочими частотами. Это позволяет строить более эффективные системы управления и контроля, достигать высоких показателей производительности. Примером является высочайшая производительность современных струйных принтеров, печатающие головки для которых изготовлены с использованием микросистемной технологии. 6. Одним из важнейших направлений развития микросистем является дальнейшая интеграция схем управления и обработки данных в само микроустройство, что, наряду с надежностью, также повышает управляемость сложных систем. Кроме того, такие "разумные" приборы могут осуществлять самодиагностику и автокалибровку, что также повышает качество конечного продукта. Наряду с этими общими соображениями в каждой конкретной области приложения микросистем существуют свои специфические преимущества и особенности применения. Суммируя вышесказанное, можно отметить, что микросистемы, обладая рядом уникальных характеристик, способны в корне изменить окружающую нас действительность, делая нашу жизнь более удобной и безопасной микроустройства, заменяя существующие, часто привносят новое качество в привычные вещи. Ожидается, что микротехнология даст мощный толчок технологическому развитию и сформирует условия для появления новой волны технологических инноваций. Номенклатура производимых в настоящее время микроустройств весьма разнородна (рис.1). Влияние на формирование ситуации на рынке микросистем оказывают не только рыночные и технологические факторы, но и исторически сложившиеся предпочтения. Так, на рынке США подавляющее большинство компаний производят микрокомпоненты на базе технологий микроэлектроники, в то время как европейские и японские фирмы в большей степени тяготеют к альтернативным технологиям, таким как LIGA, точная механика, различные варианты лазерной технологии. Исторически развитие микромеханических систем началось в автомобилестроении. И по сей день это один из основных потребителей микроустройств. Поэтому сейчас значительную долю рынка микросистем составляют датчики ускорения и давления, которые позднее стали применяться в аэрокосмической промышленности, робототехнике и других областях. В автомобилестроении эти датчики используются в системах безопасности автомобиля (упоминавшиеся подушки безопасности, АБС и антипробуксовочные системы), элементах активной подвески (например, в Sitroen Xantia), системах контроля давления рабочей смеси и ее дозировки, датчиках давления шин и др. Рис. 1. Доля от общего объема продаж различных типов микроустройствв 1996 г. и 2003 г. (прогноз) по данным System Planning Corporation Быстроразвивающейся нишей рынка являются оптические системы. Примерами могут служить коннекторы для оптоволокон, прогрессивные технологии для компьютерных дисплеев, оптические спектрометры для различных применений и др. И, наконец, одну из самых значительных и перспективных ниш на рынке микроустройств занимают микрожидкостные системы, на которых мы подробно остановимся, рассмотрим их специфику и несколько примеров конкретных микрожидкостных устройств. Микрожидкостные системы являются важнейшей областью приложения микросистемной технологии. По данным корпорации System planning доля микрожидкостных устройств в общем объеме продаж микросистем в 1996 г. составляла 19%. В 2003 г. по прогнозу доля подобных устройств резко вырастет и достигнет 39%. При этом оборот в абсолютном выражении в этом секторе вырастет в 7-10 раз и на 2003 г. составит 4,5 млрд долл. Если учесть, что часть датчиков давления тоже может быть отнесена к микрожидкостным системам, то результат будет еще более впечатляющим. Под термином микрожидкостная система мы будем понимать миниатюрное устройство, изготовленное на основе микросистемной технологии и предназначенное для проведения различных химических и физических процессов с малыми объемами жидких реагентов. В иностранной литературе к таким системам относят также микроустройства, оперирующие с газами. При этом типичные размеры элементов микрожидкостной системы составляют от нескольких микрометров до нескольких миллиметров, а типичные потоки жидкости – от нескольких микролитров до десятков миллилитров в минуту. Рассмотрим основные преимущества микрожидкостных систем перед их традиционными аналогами, специфичные для данной области микротехнологии. 1. Микрожидкостные системы отличают очень малые времена отклика. Этот факт позволяет, например, быстро выводить продукт за зону реакции или изменять условия ее протекания (в частности, осуществлять быстрое, интенсивное охлаждение или нагрев, прерывать каталитические реакции и т.п.). Примером точного контроля над потоками жидкости могут служить печатающие головки современных струйных принтеров. Так, в головках принтеров фирмы Hewlett Packard объем элементарной порции красителя составляет около 10 пиколитров. В подобных устройствах фирмы Epson точное формирование рабочей капли осуществляется созданием разряжения в области сопла после выброса капли красителя, и все это при высочайшей скорости работы. 2. Крайне низкие значения мертвых объемов, что позволяет избегать потери в потоках реагентов и продуктов реакции. Это важно для работы с опасными или очень дорогими реагентами и позволяет получать точно определенное количество конечного продукта. Помимо малого количества отходов при химическом производстве, подобный подход позволяет получать продукты очень высокой степени чистоты. Иллюстрацией могут служить устройства для получения микропорций медицинских препаратов, а также для их точного дозирования. Возможность использования очень малых объемов реагентов для реакции очень важна (в частности, для различных анализаторов, где объем проб может быть ограничен) и, к тому же, это позволяет минимизировать расход индикаторных веществ, что кроме очевидных преимуществ сокращает время анализа. Примером реализации данной черты является быстрорастущий класс микроаналитических систем для различных видов анализа. 3. Высокие значения отношения площади поверхности к объему жидкости, благодаря чему можно, во-первых, очень эффективно смешивать жидкие реагенты или обеспечивать большую площадь реакции с реагентом (катализатором) в твердом состоянии, во-вторых, улучшать теплопередачу для нагревания или охлаждения жидкости. Таким образом, появляется возможность эффективно контролировать температурный режим реакции, в частности, проводить реакции с большим тепловыделением. 4. Переход к массовому химико-технологическому производству в случае микрожидкостных систем осуществляется посредством простого умножения числа микрореакторов, в отличие от макросистем, где, во-первых, переход от лабораторного к промышленному производству нередко вызывает сложнейшие технологические проблемы и, кроме того, надежность и безопасность производства иногда являются серьезной проблемой. Таким образом, в перспективе микрожидкостные системы позволяют сократить срок внедрения того или иного промышленного химического процесса, так как отпадает необходимость в дополнительной разработке совершенно нового технологического процесса, каким часто является крупномасштабное химическое производство, повысить общую надежность и устойчивость процесса (в случае выхода из строя одного из многих параллельных микрореакторов их можно заменить, не прерывая всего технологического цикла) и, наконец, повысить безопасность производства (аварии даже нескольких микрореакторов не являются критическими, вследствие малого объема задействованных реагентов). Дополнительным плюсом является снижение капитальных затрат на налаживание производства, ведь при массовом выпуске микрокомпоненты должны обладать низкой стоимостью. Сложности, стоящие на пути продвижения микрожидкостных систем (наряду с общими для всех микромеханических систем), имеют также и специфические черты. Так, существенное уменьшение размеров микрожидкостных систем приводит не только к количественным, но и качественным изменениям. Это вызывает трудности с моделированием как механических (работа микронасосов и клапанов), так и химических микропроцессов. В настоящее время появились первые специализированные и адаптированные версии компьютерных программ, направленных на решение подобных инженерных и расчетных задач. Использование датчиков в таких системах затрудняется тем, что возникают проблемы с очисткой их поверхности, а это особенно критично для микродатчиков. Кроме того, необходимо защитить сенсоры от вредного воздействия окружающей среды (пыли, агрессивных компонентов и т.д.). При этом стоимость упаковки для микрожидкостных систем составляет до 75% их стоимости из-за специфичности конструкции для каждого конкретного устройства. Имеет место также проблема создания универсальных методик тестирования. Среди основных элементов микрожидкостных систем принято выделять микронасосы, клапаны (активные и пассивные) и вспомогательные элементы, такие как смесители, элементы ввода и вывода, теплообменники, каналы, датчики и др. В настоящее время в стадии разработки находится большое число насосов и клапанов различных конструкций и принципов действия, с движущимися механическими частями и без них. Примеры приложения микрожидкостных систем весьма разнообразны. Исторически одним из первых устройств, содержащих микрожидкостные элементы, являлись головки для струйных принтеров. Головки для струйных принтеров представляют собой сложные устройства с соплами диаметром около 5 мкм, с различными типами насосов для выброса красителя (термовозгонка используется в головках фирмы Hewlett Packard, пьзонасосы использует фирма Epson). Co временем удалось резко снизить стоимость головки настолько, что сейчас, заменяя картридж в принтерах Hewlett Packard, мы заменяем и всю печатающую головку. Таким образом, этот продукт переходит в разряд массового и эта ниша рынка оценивается в 1,5 млрд долл. в год. Дальнейшим развитием подобных систем являются так называемые микроаналитические системы, которые содержат микронасосы, клапаны и анализирующие датчики. 3.1. Микронасосы По принципу функционирования микронасосы делятся на два класса [52,55-59]. К первому классу относятся немеханические микронасосы (не содержащие подвижные микромеханические части). Данный класс включает микронасосы на основе электрогидродинамического, электроосмотического и ультразвукового эффектов. Ко второму классу, самому распространенному, относятся механические микронасосы (содержащие подвижные микромеханические части) с активными и пассивными клапанами.^ 3.1.1. Электрогидродинамические микронасосы Наибольшее распространение, в классе немеханических микронасосов получили электрогидродинамические. Электрогидродинамический микронасос представляет собой инжекционный микронасос, состоящий из двух электродов сетчатой структуры, размещенных один над другим и разделенных слоем диэлектрика (рис.3.7) [55].Рис.3.7. Микронасос электрогидродинамического типаЕсли микронасос погрузить в полярную жидкость (содержащую ионы и диполи) и к двум сетчатым структурам приложить напряжение, то в результате взаимодействия между высокими электрическими полями и ионами или диполями жидкости возникнут силы, действующие на частицы жидкости. Частицы жидкости будут ускоряться между структурами, и возникнет движение жидкости через сопла в одном направлении. Перестройка работы электрогидродинамического микронасоса заключается только в приложении к структурам обратного напряжения. С помощью электрогидродинамических микронасосов можно перекачивать различные масла и полярные жидкости (этиловый и метиловый спирты, ацетон, фреон) и множество других непроводящих жидкостей с удельным сопротивлением, лежащим в диапазоне от 1010 до 1014 Ом*см. Обычную воду таким путем перекачивать нельзя, так как под воздействием электрических полей в ней начинается электролиз [55]. Возможными применениями данного класса микронасосов являются миниатюрные системы охлаждения электронных компонентов, основанные на использовании этилового и метилового спиртов. В других возможных применениях наиболее целесообразно применять микронасосы второго класса, содержащие подвижные мембраны и клапана.^ 3.1.2. Механические микронасосы с активными клапанами В качестве активационного механизма в механических микронасосах с активными клапанами используются пьезоэлектрические и термопневматические актюаторы. Микронасосы данного вида содержат несколько активных клапанов, расположенных последовательно друг за другом (рис.3.8) [52,57,59].Рис.3.8. Механический микронасос с активными клапанамиПри включении актюатора первого активного клапана происходит деформация мембраны, что приводит к открытию первого клапана. Жидкость со входа микронасоса через открытый первый клапан поступает на вход второго активного клапана. Выключение актюатора первого клапана происходит одновременно с включением актюатора второго клапана. Когда второй клапан открывается, жидкость поступает на вход третьего клапана. Далее производится одновременное открытие первого и третьего клапанов и закрытие второго. Жидкость с входа третьего клапана попадает на выход микронасоса, а жидкость с входа микронасоса попадает на вход второго активного клапана. Далее цикл повторяется. Достоинством механических микронасосов с активными клапанами является то, что они позволяют перекачивать жидкость в обоих направлениях без изменения конструкции. Перестройка работы микронасоса заключается только в обратной последовательности включения актюаторов активных клапанов.^ 3.1.3. Механические микронасосы с пассивными клапанами Поршневой механический микронасос с пассивными клапанами содержит рабочую область с подвижной мембраной, управляемой актюатором, входной и выходной клапаны, управляемые потоком жидкости (рис.3.9) [52,57,59]. По принципу действия используемого актюатора поршневые механические микронасосы разделяют на электростатические, пьезоэлектрические (рис.3.9,а), магнитные и термопневматические (рис.3.9,б) [52,57,59]. При включении актюатора, происходит деформация подвижной мембраны. Что в свою очередь приводит к изменению объема рабочей области микронасоса. В результате возникает разность давлений жидкостей, находящихся в рабочей области, на входе и на выходе микронасоса. Под воздействием жидкости, находящейся в рабочей области, входной клапан закрывается, а выходной – открывается. При этом избыточная жидкость удаляется из рабочей области микронасоса через выходной клапан. Давления жидкости в рабочей области, на входе и выходе микронасоса выравниваются. При выключении актюатора подвижная мембрана возвращается в первоначальное положение и объем рабочей области микронасоса восстанавливается. В результате снова возникает разность давлений жидкостей, находящихся в рабочей области, на входе и на выходе микронасоса. Под воздействием жидкости, находящейся на входе микронасоса, входной клапан открывается, а под воздействием жидкости, находящейся на выходе микронасоса, выходной клапан закрывается. Рабочая область заполняется жидкостью через входной клапан.абРис.3.9. Поршневой механический микронасос: а – пьезоэлектрический; б – термопневматическийПоршневые механические микронасосы получили более широкое распространение, чем механические микронасосы с активными клапанами, т.к. они позволяют перекачивать больший диапазон жидкостей [52,57,59]. Для увеличения объемов перекачиваемой жидкости микронасосы изготавливают с несколькими рабочими областями. На рис.3.10 представлена конструкция двухкамерного механического микронасоса с пьезоэлектрической активацией [59].Рис.3.10. Двухкамерный пьезоэлектрический микронасосМеханические микросмесители строятся на основе поршневых механических микронасосов. Основное отличие микросмесителей от микронасосов состоит в том, что конструкция микросмесителя содержит несколько входных клапанов и только один выходной. В настоящее время не существует интегральных конструкций механических микронасосов и микросмесителей. Отдельные части микронасосов (микросмесителей) изготовляются в разных подложках с помощью технологий объемной микрообработки или LIGA. Затем изготовленные части собираются с помощью операции микросборки.Контрольные вопросы1. Преимущества микроизделий перед своими аналогами, изготовленными по обычной технологии. 2. Основные преимущества микрожидкостных систем перед их традиционными аналогами. 3. Электрогидродинамические микронасосы. 4. Механические микронасосы с активными клапанами. 5. Механические микронасосы с пассивными клапанами.