Пер. с англ. С.Филимонова.
Всекомпьютерные микропроцессоры изготавливаются на кремниевой подложке методомфотолитографии: свет, проходя через шаблон с рисунком схемы, формирует негативэтого рисунка на пластине, закладывая сплетение межсоединений. Увеличиваячастоту колебаний световой волны, т. е. переходя от зеленого света к синему, апотом и к ультрафиолетовому, инженеры уменьшают ширину линии рисунка, т. е.сокращают размеры интегральных схем.
Но,похоже, возможности этой технологии исчерпаны: следующие за ультрафиолетовымирентгеновские лучи трудно сфокусировать, и поэтому рентгеновская литографияиспользуется крайне редко. Один из вариантов — использовать сам свет в качествешаблона. Дж. Дж. Макклеланд со своими коллегами из Национального институтастандартов и технологии (США) применил этот метод, чтобы изготовить решетку изхромированных точек на маленькой кремниевой пластине. Размер точки — всего 80 нм- значительно меньше разрешающей способности, обеспечиваемой ультрафиолетовымилучами. Физики уверены, что с дальнейшим развитием этой технологии можно будетна площади в 1 см2 всего за несколько минут разместить 2 млрд интегральныхсхем.
Секретзаключается в использовании в качестве линзы лазерного луча. Плотный узкийпучок атомов хрома, получаемый при нагревании навески хрома в СВЧ-печи,пропускают сквозь пучок лазерного излучения, частота которого близка к частотесобственных колебаний атомов хрома. В результате атомы теряют энергию, т. е.охлаждаются. Непосредственно перед кремниевой подложкой эти атомы попадают веще один лазерный пучок — примерно той же частоты, что и первый. Будучиотраженным от зеркала, этот пучок образует стоячую волну, т. е. волну, пучностии узлы которой фиксированы в пространстве. />
Натолкнувшисьна такую стоячую волну, атомы хрома вынуждены двигаться либо вверх, к гребнюволны, либо вниз, к узлу между гребнями. Таким образом, волна играет рольлинзы, отклоняя проходящие сквозь нее атомы от прямой траектории на половинудлины волны и выстраивая их в аккуратные линии на поверхности кремниевойпластины. Если пластину осветить двумя взаимноперпендикулярными лазернымипучками, как это сделал Макклеланд, линии превратятся в правильную совокупностьточек — решетку. Следующий шаг — сканирование лазером поверхности для созданияпроизвольного рисунка интегральных наносхем.
Втехнологии позиционирования атомов фокусированным лазерным лучом — такоеназвание физики закрепили за новой технологией — предстоит разрешить немалопроблем, прежде чем она появится в заводских цехах. Например, не все атомыфокусируются. Вероятно, будет невозможно стравливать материал, не разрушаярисунка соединений. Но, поскольку теоретически при помощи этой технологии можносоздавать схемы с шириной линии рисунка в 10 раз меньшей, чем сегодняшние, онав конце концов привлечет к себе внимание.
Список литературы
Дляподготовки данной работы были использованы материалы с сайта www.1september.ru/