XXXIV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 12 – 16 февраля 2007 г. МД - моделирование бомбардировки поверхности твёрдых тел ионами титана с энергиями 100-500 эВ Панькин Н.А., Смоланов Н.А.Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва, г. Саранск, Россия, e-mail: panjkinna@yandex.ru В последние 20-30 лет возрос интерес к исследованию явлений и процессов, происходящих при взаимодействии атомных частиц с поверхностью твёрдого тела. Актуальность таких исследований обусловлена развитием и внедрением в практику новых прогрессивных технологий, использующих методы ионного и ионно-плазменного напыления, ионной имплантации и молекулярной эпитаксии. Помимо уникальных физических экспериментов, проводимых с целью изучения явлений на поверхности твёрдого тела в данных технологиях, используются численные методы, приобретающие всё более широкое распространение в связи с совершенствованием компьютерной техники. Целью настоящей работы являлось компьютерное моделирование процесса бомбардировки поверхности монокристаллического железа ионами титана с энергиями (100-500 эВ) в рамках метода молекулярной динамики [1]. При этом рассматривалось отражение от плоскостей [100], [110] и [111] кристаллической решётки. Для описания взаимодействия между атомами материала мишени использовали парный потенциал взаимодействия Морзе. Взаимодействие между налетающим ионом и атомами подложки описывали с помощью потенциала Циглера-Бирзака-Литтмарка (ЦБЛ), который получил широкое распространение при моделировании распыления:, (1) где с1, с2, с3, с4 соответственно равны 0.1818, 0.5099, 0.2802 и 0.02817; b1, b2, b3, b4 соответственно равны 3.2, 0.9423, 0.4029 и 0.2016; . Радиус обрезания межатомных потенциалов составлял 5 Å. Расчёт потери энергии на единице пути при неупругих взаимодействиях иона с атомами подложки проводили в рамках модели Оуэна-Робинсона:, (2) где с – постоянная, равная 0.3; v0 –скорость Бора (=с/137, где с-скорость света в вакууме); Z1, Z2 – зарядовое число для иона и атома подложки; е – заряд электрона; ε0 – диэлектрическая постоянная; а0 – боровский радиус; . В ходе выполнения работы рассчитаны энергетические спектры, функции распределения отражённых ионов по углам вылета и глубине проникновения титана в материале мишени мишени. Получено распределение осаждённых и имплантированных ионов по глубине их проникновения. Рассчитаны значения коэффициента распыления атомов подложки и коэффициента отражения ионов титана в зависимости от энергии налетающих частиц (100-500 эВ). Все результаты получены после анализа 20000 траекторий ионов в материале монокристаллической мишени железа. ЛитератураХолмуродов Х.Т., Алтайский М.В., Пузынин И.В. и др. Методы молекулярной динамики для моделирования физических и биологических процессов //Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2003, 34, вып. 2. с. 474-515.