Реферат по предмету "Разное"


Xxxiv международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и утс, 12 16 февраля 2007 г рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления

XXXIV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 12 – 16 февраля 2007 г. рентгеноспектральный анализ пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления А.Р. Галяутдинов, Р.Т. Галяутдинов, Н.Ф. КашаповКазанский государственный технологический университет, г. Казань, e-mail: toureech@mail.ru Низкотемпературная плазма находит применение для получения функциональных покрытий с регулируемыми характеристиками. Исследование состава и структуры тонких пленок оксида титана, полученных при различных условиях позволяет определить модель строения и на ее основе аналитически рассчитать комплексный показатель преломления. В оптике тонкопленочных покрытий актуально получение пленок с заданным комплексным показателем преломления [1]. В работе методом магнетронного распыления нанесены тонкие пленки оксида титана и проведен их рентгеноспектральный анализ. Методом магнетронного распыления получены покрытия оксида титана на кварцевых подложках марки КВ [2]. Достигнуто регулирование показателя поглощения изменением соотношения аргона и кислорода в вакуумной камере в процессе распыления титановой мишени. Состав и топография поверхности наносимых покрытий изучена на сканирующем электронном микроскопе Phillips XL30 ESEM TMP с применением трех детекторов: GSE – твердотельного низковакуумного детектора, SE - детектора вторичных электронов и EDS - энергодисперсионного детектора. Морфология поверхности пленки оксида титана изучена при увеличении в 50000 раз. В пленке не наблюдаются вкрапления и кристаллиты. В спектре характеристического излучения подложки примесей не выявлено. Рентгеноспектральные исследования пленок оксида титана проведены при низком вакууме, без напыления проводящего слоя. При напряжении на катоде электронной пушки в 15 и 10 кВ регистрируется характеристическое излучение от пяти элементов: титана Kβ = 4,9 кэВ, кα = 4,5 кэВ и lβ = 0,4кэВ, кремния кα = 1,7 кэВ, алюминия кα = 1,5 кэВ, кислорода кα = 0,5 кэВ, углерода кα = 0,3 кэВ. При 5 кВ интенсивность кα линии кремния уменьшается практически до нуля, что обусловлено уменьшением глубины генерации рентгеновского излучения до толщины пленки, составляющей порядка 200 нм. Отсутствие генерации К-серии атомов титана при 5 кВ в спектре объясняется низким уровнем энергии электронов. В спектре присутствует lβ линия титана, поскольку энергия фотонов lβ линии поглощения низка и составляет 0,4 кэВ. Таким образом, в состав пленок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления, входят атомы титана и кислорода, и незначительная примесь атомов алюминия и углерода. Анализ топографии поверхности пленок оксида титана установил их однородность по составу и структуре. Работа выполнялась при финансовой поддержке РФФИ проект № 04-02-9750200/4 и ИВФ РТ проект № 8Г по теме «Разработка технологии плазменного нанесения неоднородных оптических покрытий многоцелевого назначения».Литература.Галяутднов Р.Т., Лучкин Г.С., Кашапов Н.Ф., Тезисы докладов. ХХХ111 Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС. Звенигород, 2006 г., с. 310.Галяутднов А.Р., Галяутдинов Р.Т, Кашапов Н.Ф. Материалы конференции. «Вакуумная наука и техника». Москва, 2006 г., с. 335-337.


Не сдавайте скачаную работу преподавателю!
Данный реферат Вы можете использовать для подготовки курсовых проектов.

Поделись с друзьями, за репост + 100 мильонов к студенческой карме :

Пишем реферат самостоятельно:
! Как писать рефераты
Практические рекомендации по написанию студенческих рефератов.
! План реферата Краткий список разделов, отражающий структура и порядок работы над будующим рефератом.
! Введение реферата Вводная часть работы, в которой отражается цель и обозначается список задач.
! Заключение реферата В заключении подводятся итоги, описывается была ли достигнута поставленная цель, каковы результаты.
! Оформление рефератов Методические рекомендации по грамотному оформлению работы по ГОСТ.

Читайте также:
Виды рефератов Какими бывают рефераты по своему назначению и структуре.

Сейчас смотрят :

Реферат Элементы налогообложения для конкретного налога. Характеристика и основные принципы налоговой системы. Налог на игорный бизнес
Реферат Авдотка
Реферат Социальная экология. Генетический код
Реферат Определение затрат на ОКР, цена разработки, анализ конкурентоспособности
Реферат Экономическая информация как часть информационного ресурса общества
Реферат Программа и План - сопоставительный анализ
Реферат Порівняльний аналіз ефективності та складності прямих алгоритмів сортування масивів
Реферат Экологический паспорт автотранспортного предприятия
Реферат Робота з MYSQL
Реферат Отчет о магистерской практике (АО Норд)
Реферат Оценка и формирование корпоративного имиджа предприятия
Реферат Динамика развития мировой экономики по периодам
Реферат Религиозные идеи романа Мастер и Маргарита М Булгакова и романа Л Леонова Пирамида сходство
Реферат Сутність та види інвестицій. Поняття левериджа і його види
Реферат Изображение и значение образов природы в произведениях Н.А. Римского-Корсакова