|
Рисунок А.1 – Гироскоп, акселерометр
Рисунок Б.1 – Преобразователь абсолютного давления
Таблица Б.1 Технические характеристики преобразователя абсолютного давления
Диапазон измеряемых давлений, МПа 0,1
Напряжение питания, В
5 ± 0,1
Номинальный выходной сигнал, мВ
40…130
Нелинейность выходного сигнала, %
<0,2
Начальный разбаланс моста, мВ
<±3 Диапазон рабочих температур, °С
–50…+100
Температурный коэффициент чувствительности, %/10°С
меньше 0,15
Температурный дрейф «нуля», %/10°С
меньше 0,2
Габариты, мм 20 x 5 x 5
Рисунок Б.2 – Пьезорезистивная инерциальная микросистема для измерения малых ускорений
Таблица Б.2 Технические характеристики пьезорезистивной инерциальной микросистемы для измерения малых ускорений
Диапазон измерения ускорений, g
2-10
Размеры кристалла микросистемы, мм
8,0x2,5x0,44
Вес кремниевой инерционной массы, мг
2
Характерные размеры кремниевых балок, мкм
600x20x10
Чувствительность при напряжении питания 9 В, мВ/g
1,9
Резонансная частота микросистемы, Гц
1200
Рабочий диапазон частот, Гц
от 0 до 400
Рисунок Б.3 – Термоанемометрическая микросистема для контроля состояния газовой среды (стрелка слева указывает на технологическую воздушная полость, а стрелка справа – на чувствительные резистивные элементы на тонких вывешенных диэлектрических перемычках, толщиной около 1 мкм).
Таблица Б.3 Технические характеристики термоанемометрической микросистемы для контроля состояния газовой среды
Напряжение питания
5 В, 9В
Выходной сигнал
0 - 100 мВ
Время срабатывания
не более 1 с
Диапазон исследуемых расходов
от 0,001 до 60 л/мин
Потребляемая мощность
не более 30 кВт при питании 5 В
Относительная чувствительность
не менее 6 мВ*мВт-1(л/мин)-1
Вес
< 2 г
Габаритные размеры
35 х 15 х 10 мм
|