Суперфиниширование уменьшает шероховатость поверхности, оставшуюся от предыдущей обработки. Получают очень гладкую поверхность, сетчатый рельеф, благоприятные условия для взаимодействия поверхностей.
Поверхности обрабатывают абразивными брусками, установленными в специальной головке. Для суперфиниширования характерно колебательное движение брусков наряду с движением заготовки (рис. 20.4).
Рис. 20.4. Схема суперфиниширования
Процесс резания происходит при давлении брусков (0,5…3)105 Па в присутствии смазочного материала малой вязкости.
Амплитуда колебаний 1,5…6 мм. Частота колебаний 400…1200 мин -1. Бруски подпружинены и самоустанавливаются по обрабатываемой поверхности. Соотношение скоростей DSкр к в начале обработки составляет 2…4, а в конце – 8…16.