| Ответственность: | С.Л. Григорович и др.; Под ред. Г.Д. Кузнецова ; Каф. технологии материалов электроники МИСиС |
|---|---|
| Место издания: | М. |
| Издательство: | МИСиС |
| Год издания: | 2002 |
| Количество страниц: | 75 с. |
| Библиография: | Библиогр.: с. 74 |
| Авторский знак: | М 54 |
| Тип документа: | Учебные пособия |
| Тип содержания: | Учебно-практические издания |
| Илл./тип воспроизв.: | ил., табл. |