Технология материалов микро- и наноэлектроники

Список литературы: Библиографическая карточка:

Ответственность:Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин, В.В. Крапухин, Ю.Н. Пархоменко
Место издания:М.
Издательство:МИСИС
Год издания:2007
Количество страниц:544 с.
Библиография:Библиогр. в конце гл.
Серия:Металлургия и материаловедение XXI века
Авторский знак:Т 38
Тип документа:Монографии
Тип содержания:Научные издания
Илл./тип воспроизв.:ил.

ISBN: 978-5-87623-132-1

Поделись с друзьями, за репост + 100 мильонов к студенческой карме :